マグネトロン

... アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO ...

... Angstrom Sciences社のリニアマグネトロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべてのマグネトロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス導入口、堅牢なアノード壁、最先端材料の採用といった特徴により、お客様のスパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ますます多くの業界がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom ...

... アングストローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型マグネトロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングストローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングの用途においても、これらの利点を提供できるよう特別に設計された、コンパクトで軽量、かつ経済的な円筒型マグネトロンを開発しました。 カスタム設計 3インチ（75mm）または5インチ（125mm）のバッキングチューブ径を採用し、長さ最大4メートルまでのドロップイン型およびサイドマウント型の完全なアセンブリをご用意しています。また、ソース間距離を最小限に抑えた複数のインラインアレイも利用可能であり、コンパクトで高スループットな生産システムを実現します。 経済的で完全互換性のある投資 ONYX-Revolution™は、あらゆるターゲットタイプに対応できるようカスタマイズされた納期で提供される、汎用的かつコスト効率に優れたマグネット設計を採用しています。また、市販の部品を使用して設計されているため、低コストで長期的な投資と信頼性を実現しています。 特許取得技術 Angstrom ...

... 高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される。 ...

... Angstrom Sciencesは、ほぼすべての標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 さらなる機能 アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンの設計、開発、製造、試験をすべて自社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトにおいて、最高品質と厳格な管理を保証いたします。 優れた技術 Angstrom ...

... オングストロームサイエンスでは、世界で最も先進的で信頼性の高いマグネトロンスパッタリングカソードを設計、エンジニアリング、製造しています。また、業界最長の2年間保証で、製品の品質を保証しています。 また、マグネトロンの寿命を通じて最高品質の性能を保証することをお約束します。ONYX®や他のマグネトロンアセンブリの緊急時やメンテナンスの必要性に対して、包括的な修理とリビルドサービスを提供しているのはそのためです。 -ソースの分解 -機械的および電気的損傷チェック -適合および公差検査 -Oリング交換 -ネジ交換 -全体クリーニング -マグネット・チェック：封入、クリーニング、マップ作成 -再組み立て -テスト：真空、電気、水（テストシートあり） -水と電気ラインの交換（必要な場合） ...

... ロータリーマグネトロンは、マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形マグネトロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリーマグネトロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転するマグネットセットによって一掃されます。 オングストローム・サイエンス社は、直径4″(100mm)から16″(406mm)までのロータリーマグネトロンを提供しており、調整可能な磁石構成でプロセスの最適化と均一性の向上を可能にするように設計されています。当社のマグネトロンは、内部または外部構成で取り付けることができます。 回転マグネトロンは、基板を動かすことなく優れた均一性を提供します。 ...

... オングストローム・サイエンス社は、マグネトロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングストローム・サイエンシズは、世界最先端のマグネトロン、高品質の蒸着材料、包括的な技術サポートを提供することで、お客様が最も生産的で費用対効果の高い薄膜アプリケーションを開発するお手伝いをすることに専念しています。 また、お客様にご満足いただけるよう、万全の体制を整えております。マグネトロンを業界最長の2年保証でサポートするのはそのためです。 ...

... 間接冷却型マグネトロンは、円形カソードの冷却水とスパッタリングターゲットの間に中間壁を備えています。この壁は、水と真空との間に恒久的なシールを形成し、ターゲットが「スパッタリングによって貫通」した場合に発生しうる漏れを防止します。 Angstrom Sciences社の1インチ～4インチ（25mm～100mm）間接冷却式円形マグネトロンには、さまざまな厚さのスパッタリングターゲットに合わせて調整可能なネジ式ターゲットクランプとアノードシールドが採用されています。このネジ式設計により、ターゲットの交換は迅速かつ容易に行え、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプとアノードシールドにより、コンパクトな円形マグネトロンヘッドが実現されています。これにより、アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、狭い真空チャンバーにも設置可能であり、従来のマグネトロンと比較して、表面積に対するより大きな基板のスパッタリングが可能です。 間接冷却型マグネトロンは、低出力の用途に推奨されており、研究開発用途に最適な選択肢です。 ...

... 基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングストローム・サイエンスの高温サーキュラー・マグネトロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラーマグネトロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。 ...