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... 当社の最大の内部実装エンドブロックであるSCは、最大4000mmまでのターゲットを扱うことができ、最大200kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... 当社の最新製品であるcMCは、中型内部マウントエンドブロックであるMCのシンナーバージョンです。 cMCは最大2500mmまでのターゲットを扱うことができ、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 SCIエンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... TCシリーズ内部エンドブロックは、最もコンパクトな設計で独自の電力供給技術を備えています。 TCは最大1500mmまでのターゲットを扱うことができ、出力定格は40kWのDCまたは80kHzのMFACです。 SCI内部実装エンドブロックは、高い信頼性とシンプルでメンテナンスが容易な設計を備えています。 シングルエンド構成は、ロータリーカソードで最も一般的な故障モードの1つであるロータリーおよびスタティックシールの数を減らします。 当社の独自の水充填および排水機能は、目標冷却を改善し、打撃時に目標水を完全に排水することを可能にします。 ...
Sputtering Components
... MMは、中型外付エンドブロックです。 最大2500mm（サポート）のターゲットに対応でき、最大100kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 MMシリーズ外部マウントエンドブロックは、当社のMCシリーズエンドブロックと同じ特許技術を使用して、コンパクトな設計で卓越した価値、性能、信頼性を提供します。 カスタマイズ可能なドライブシャフト長さ コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ特許取得済みの電力供給技術 特許取得済みのターゲットウォーターフィルとドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 内部エンドブロックよりも広い基板カバレッジ ほとんどのチャンバデザインに適合 すべてのユーティリティは外部にあり、ターゲット切り替え 高パッキング密度; ...
Sputtering Components
... CMは、当社の最もコンパクトな外部実装エンドブロックです。 最大1000mmのターゲットに対応でき、最大20kWのDCまたは80kHzのMFACの電力定格を備えています。 CM外部実装エンドブロックは、非常にコンパクトで軽量な設計で高性能と信頼性を兼ね備えています。 特長 カスタマイズ可能なドライブシャフト長 コンパクトで柔軟な設計 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ 特許取得済みの給電技術 特許取得済みのターゲット水の充填とドレイン 少ない部品のためのシンプルなデザイン マグネットバーは外部から任意の角度に調整可能 利点 広い内部エンドブロックよりも基板のカバレッジ ほとんどのチャンバ設計に適合 すべてのユーティリティは外部であり、ターゲット切り替え中に取り付けられたままです 高パッキング密度; ...
Sputtering Components
... 当社最大の外部マウントエンドブロックであるSMは、最大4000mm（対応）のターゲットに対応し、最大200kW DCまたは80kHz MFACの定格電力を備えています。 当社の内部エンドブロックと同じ特許技術を使用し、優れた価値、性能、信頼性を提供しますが、より広い基板カバー率とカスタマイズ可能なドライブシャフトの長さを持っています。 タイプ シンプルなシングルエンド設計で、迅速なターゲット変更、高い信頼性と簡単なメンテナンスに必要な場合は、アウトボードサポートを備えています。 電力（最大）：200 ...
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... Swing CathodeTMエンドブロックを使用すると、回転ターゲットチューブから独立したプログラム可能な回転軸にマグネットパックがスイングするため、ディスプレイや3Dパーツコーティングに最適なシステムとなります。 Swing CathodeTMは、他のエンドブロックと同じ特許技術を使用して、優れた価値、性能、信頼性をコンパクトなパッケージで提供しています。 特長 お客様がプログラム可能なマグネットパックスイングモーションを使用して静的基板をコーティングするように設計 カスタマイズ可能なドライブシャフト長さ コンパクトで柔軟なフォームファクター 簡単にアクセスできる水シールカートリッジ シンプルなデザイン-少ないパーツ 特許取得済みのターゲット給水/排水機能 メリット ディスプレイまたは3Dパーツコーティングに最適 高パッキング密度; ...
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... Angstrom Sciencesが製造するユニットは、スパッタリング業界のDC/ICターゲットでの使用に適したマグネトロンです。 コンパクトで円形設計なので、最も小さい真空チャンバー用の複雑なクラスタアセンブリでも、レトロフィットアプリケーションでも受け入れられます。 マグネトロンは、RF、DC、中周波 DC、パルスDC、マイクロ波電源の互換性を提供する最小インピーダンスを持つヘッドを特長としています。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... より多くの産業がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、そして利益を発見する中、オングストロームサイエンス社は、これらの大型で高速な製造プロセスの出力を最大化するツールを開発しています。 幅広いソリューション 広範囲の基板をコーティングする必要がある場合や、非常に高いスループットを達成する必要がある場合、リニアマグネトロンは完璧なソリューションを提供します。 特許取得済みの利点 オングストローム・サイエンス社のリニアマグネトロンは、特許取得済みのプロファイリングされたNdFeB希土類磁石と乱流水流を完全に組み込んでおり、比類のないパフォーマンスを提供します。 標準フィッティング 当社では、ISO ...
Angstrom Sciences, Inc.
... 円筒形マグネトロンは、薄膜の均一性と最大のターゲット利用率を達成するために、ガラスコーティング業界で非常に人気があります。 最近、Angstrom Sciencesは、コンパクトで軽量で経済的な新しい種類の円筒形マグネトロンをデザインしており、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングアプリケーションに非常に有利です。 特許を取得したプロファイル磁石技術のもう一つの注目された事実は、それがソースと基板との間の正常に近い堆積プロファイルを作ることです。 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... HIPIMSスパッタリングは、ハイパワーパルスマグネトロンスパッタリングの略です。 両方の血漿を生成し、スパッタリング原子の大部分をイオン化するために、電力の非常に高い電力、短い持続時間パルスを使用してパルススパッタリングのこの比較的最近の進歩。 ターゲット表面の磁場の強度を正確に制御することは、スパッタ材料のアーク化の低減と最適なイオン化の両方において、HIPIMSプロセスにとって重要であることが示されています。 Angstrom Sciencyは、磁場を離散的に変化させることを可能にする円形および線形マグネトロン製品ライン向けのソリューションを開発しました（内部マウントカソード用の交換可能な磁石セットですが）または継続的に（外部マウントのマグネットパックの高さ調整により） ...
Angstrom Sciences, Inc.
... SIDABREは、平面および円筒形状を有するシングルおよびデュアルマグネトロンを開発し、別個の部品として使用することも、システムに統合することもできます。 これらのデバイスは、クランプまたは接着ターゲット、直接または間接冷却、外部または内部の電源および冷却水の接続などの特別な機能を装備することができます。 矩形ターゲットと円筒ターゲットの最大使用 可能長さは 2.0 m で、円形ターゲットの最大直径は 400 mm です。 私たちは、特定のプロセスの要件に応じて、ターゲットまたは磁石のいずれかで回転を行う円筒形の回転可能なマグネトロンを開発します。 ...
... 主に 線形加速器用の機械的に調整されたパルスマグネトロン。 周波数範囲 （冷却水 40°） -2993 〜 3002 MHzのピーク 出力電力-2.0MWマグネット-独立した出力-No.10（WR 284 導波路）（ 内部 72.14 × 34.04mm） 冷却-水 ...
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