マグネトロン

... アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO ...

... Angstrom Sciences社のリニアマグネトロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべてのマグネトロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス導入口、堅牢なアノード壁、最先端材料の採用といった特徴により、お客様のスパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ますます多くの業界がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom ...

... アングストローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型マグネトロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングストローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングの用途においても、これらの利点を提供できるよう特別に設計された、コンパクトで軽量、かつ経済的な円筒型マグネトロンを開発しました。 カスタム設計 3インチ（75mm）または5インチ（125mm）のバッキングチューブ径を採用し、長さ最大4メートルまでのドロップイン型およびサイドマウント型の完全なアセンブリをご用意しています。また、ソース間距離を最小限に抑えた複数のインラインアレイも利用可能であり、コンパクトで高スループットな生産システムを実現します。 経済的で完全互換性のある投資 ONYX-Revolution™は、あらゆるターゲットタイプに対応できるようカスタマイズされた納期で提供される、汎用的かつコスト効率に優れたマグネット設計を採用しています。また、市販の部品を使用して設計されているため、低コストで長期的な投資と信頼性を実現しています。 特許取得技術 Angstrom ...

... 概要
スパッタリング装置および真空チャンバー向けのマグネトロン陰極。マグネトロン蒸着プロセスにおける陰極として使用されます。

簡単な説明
Socrate Industrie製のマグネトロン陰極で、産業用スパッタリング装置での使用を想定しています。システム統合用のドキュメントが付属します。

画像 / メディア（ページより）

• 主要製品画像ファイル名：Cathode_magnetron.png（マグネトロン陰極を示す）

• 製品ドキュメント：Magnetron.pdf