Angstrom Sciencesのマグネトロン

... アングス トローム・サイエンシズの円形 マグ ネト ロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形 マグ ネト ロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF ...

... Angstrom Sciences社のリニア マグ ネト ロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべての マグ ネト ロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス ...

... アングス トローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端の マグ ネト ロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型 マグ ネト ロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングス トローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティング ...

... 高出力パルス マグ ネト ロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される ...

... スパッタリングプロセスに対応する最先端の マグ ネト ロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 さらなる機能 アングス トローム・サイエンシズは、 マグ ネト ロンの設計、開発、製造、試験をすべて自社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトにおいて、最高品質と厳格な管理を保証いたします。 優れた技術 Angstrom ...

... オングス トロームサイエンスでは、世界で最も先進的で信頼性の高い マグ ネト ロンスパッタリングカソードを設計、エンジニアリング、製造しています。また、業界最長の2年間保証で、製品の品質を保証しています。 また、 マグ ネト ロンの寿命を通じて最高品質の性能を保証することをお約束します。ONYX®や他の マグ ネト ロンアセンブリの緊急時やメンテナンスの必要性に対して、包括的な修理とリビルドサービスを提供しているのはそのためです。 -ソースの分解 -機械的および電気的損傷チェック -適合および公差検査 -Oリング ...

... ロータリー マグ ネト ロンは、 マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形 マグ ネト ロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリー マグ ネト ロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転する マグネットセットによって一掃されます。 オングス トローム・サイエンス社は、直径4″(100mm ...

... オングス トローム・サイエンス社は、 マグ ネト ロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングス トローム・サイエンシズは、世界最先端 ...

... 容易に行え、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプとアノードシールドにより、コンパクトな円形 マグ ネト ロンヘッドが実現されています。これにより、アングス トローム・サイエンシズの円形 マグ ネト ロンは、狭い真空チャンバーにも設置可能であり、従来の マグ ネト ロンと比較して、表面積に対するより大きな基板のスパッタリングが可能です。 間接冷却型 マグ ネト ロンは、低出力の用途に推奨されており、研究開発用途に最適な選択肢です。 ...

... 基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングス トローム・サイエンスの高温サーキュラー・ マグ ネト ロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラー マグ ネト ロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。 ...