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... オングス トローム・サイエンス社の円形 マグ ネト ロンは、Angstrom Advantage™と、構成とプロセス性能においてほぼ無限の可能性を提供する他の多くの設計特徴により、スパッタリング業界の標準として認識されるようになりました。 そのコンパクトな設計により、当社の円形 マグ ネト ロンは、最小の真空チャンバー用の最も複雑なクラスターアセンブリを含む、あらゆる新規またはレ トロフィットアプリケーションに理想的です。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波 ...
Angstrom Sciences, Inc.
... より多くの産業が マグ ネト ロンスパッタリングのスピード、制御性、そして最終的な利益を発見するにつれて、アングス トローム・サイエンシズは、これらの大規模で高速な製造プロセスの出力を最大化するツールを開発している。 より広範なソリューション 極めて広範な基板にコーティングする必要がある場合、または極めて高いスループットを達成する必要がある場合、リニア マグ ネト ロンは完璧なソリューションを提供します。 特許取得の利点 オングス トローム・サイエンスのリニア マグ ネト ロンは、特許取得の完全カプセル化されたプロファイル ...
Angstrom Sciences, Inc.
... されています。 オングス トローム・サイエンスの特許取得済みプロファイル・ マグネット技術は、ソースと基板間の蒸着プロファイルをより正常なものにします。改善された蒸着プロファイルは、チャンバー壁へのデブリ蓄積を低減します。 さらに、アングス トローム・サイエンシズの マグネットアレイは、より高い磁場強度を提供するため、ユーザーはスパッタリングプロセスを低電力で実行し、一般的な蒸着速度を達成することができます。 本来、シリンドリカル マグ ネト ロンは、同じ空間面積を持つプレーナー マグ ネト ロンの最大3倍の量のターゲット ...
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... のスパッタリングカソードを開発しました。特許取得済みの乱流ターゲット冷却に加え、アングス トローム・サイエンシズの高インパルスパワーパルス マグ ネト ロンスパッタリングカソードには、プロセス動作中に最適な冷却を維持するため、アノード本体と取り付けフランジに追加の冷却チャンネルが組み込まれています。 その他の特徴として、ターゲット寿命を通じてターゲット表面の電界強度を一定に保つパッシブおよびアクティブ マグネットアレイがあり、これはHIPIMSプロセスにおいてアーク放電の低減とスパッタされた材料の最適なイオン ...
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... DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波パワーに対応します。 アングス トローム・サイエンスの マグ ネト ロンはすべて、2年間、製造上の欠陥および材料の欠陥に対して保証されています。 マグ ネト ロンは弊社のコアビジネスであり、お客様にご満足いただけるよう準備しております。 マグ ネト ロンの設定 をクリックしてください。 ...
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... オングス トロームサイエンスでは、世界で最も先進的で信頼性の高い マグ ネト ロンスパッタリングカソードを設計、エンジニアリング、製造しています。また、業界最長の2年間保証で、製品の品質を保証しています。 また、 マグ ネト ロンの寿命を通じて最高品質の性能を保証することをお約束します。ONYX®や他の マグ ネト ロンアセンブリの緊急時やメンテナンスの必要性に対して、包括的な修理とリビルドサービスを提供しているのはそのためです。 -ソースの分解 -機械的および電気的損傷チェック -適合および公差検査 -Oリング ...
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... ロータリー マグ ネト ロンは、 マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形 マグ ネト ロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリー マグ ネト ロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転する マグネットセットによって一掃されます。 オングス トローム・サイエンス社は、直径4″(100mm ...
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... オングス トローム・サイエンス社は、 マグ ネト ロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングス トローム・サイエンシズは、世界最先端 ...
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... 必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプと陽極シールドは、コンパクトな円形 マグ ネト ロンヘッドを作ります。これにより、オングス トローム・サイエンスの円形 マグ ネト ロンは、限られた真空チャンバーに適合し、従来の マグ ネト ロンよりも表面積の割に大きな基板をスパッタリングすることができる。 間接冷却 マグ ネト ロンは低電力アプリケーションに推奨され、研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。 間接冷却 マグ ネト ロンの詳細については、412-469-8466までお電話いただくか、オンラインでお問い合わせください ...
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... 基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングス トローム・サイエンスの高温サーキュラー・ マグ ネト ロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラー マグ ネト ロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。 ...
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