パルスマグネトロン

円形

間接冷却マグネトロンは、円形カソードの冷却水とスパッタリングターゲットの間に中間壁を組み込んでいる。この壁は、ターゲットが "スパッタリングスルー "された場合に発生する可能性のある水漏れを防止するために、水と真空の恒久的なシールを形成する。 Angstrom Sciencesの1″-4″（25mm-100mm）間接冷却式円形マグネトロンには、様々な厚さのスパッタリングターゲットに対応するネジ式ターゲットクランプとアノードシールドが組み込まれている。ネジ式設計のターゲット交換は素早く簡単で、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプと陽極シールドは、コンパクトな円形マグネトロンヘッドを作ります。これにより、オングストローム・サイエンスの円形マグネトロンは、限られた真空チャンバーに適合し、従来のマグネトロンよりも表面積の割に大きな基板をスパッタリングすることができる。 間接冷却マグネトロンは低電力アプリケーションに推奨され、研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。 間接冷却マグネトロンの詳細については、412-469-8466までお電話いただくか、オンラインでお問い合わせください。