オーダーメイドマグネトロン

... アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO ...

... Angstrom Sciences社のリニアマグネトロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべてのマグネトロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス導入口、堅牢なアノード壁、最先端材料の採用といった特徴により、お客様のスパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ますます多くの業界がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom ...

... Angstrom Sciencesは、ほぼすべての標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 さらなる機能 アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンの設計、開発、製造、試験をすべて自社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトにおいて、最高品質と厳格な管理を保証いたします。 優れた技術 Angstrom ...

... ロータリーマグネトロンは、マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形マグネトロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリーマグネトロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転するマグネットセットによって一掃されます。 オングストローム・サイエンス社は、直径4″(100mm)から16″(406mm)までのロータリーマグネトロンを提供しており、調整可能な磁石構成でプロセスの最適化と均一性の向上を可能にするように設計されています。当社のマグネトロンは、内部または外部構成で取り付けることができます。 回転マグネトロンは、基板を動かすことなく優れた均一性を提供します。 ...

... オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom ...

... 今日のコンパクトディスク業界は、ますます複雑化する生産上の課題に直面している。フィルムの均一性に対する要求は不変ですが、プロセスの経済性は、材料コストの変化によって劇的に変化します。 多くのディスク・メーカーにとって、それは2つの大きく異なるシステムを導入することを意味します。1つは低コストの材料で最大のスループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価なターゲット材料で高いターゲット利用率を達成するためです。 オングストロームサイエンスのCD/DVDマグネトロンは、マグネットアレイをドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングストローム・サイエンスのCD ...