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... オングストローム・サイエンス社の円形マグネトロンは、Angstrom Advantage™と、構成とプロセス性能においてほぼ無限の可能性を提供する他の多くの設計特徴により、スパッタリング業界の標準として認識されるようになりました。 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー用の最も複雑なクラスターアセンブリを含む、あらゆる新規またはレトロフィットアプリケーションに理想的です。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波パワーに対応します。 ISO ...
Angstrom Sciences, Inc.
... より多くの産業がマグネトロンスパッタリングのスピード、制御性、そして最終的な利益を発見するにつれて、アングストローム・サイエンシズは、これらの大規模で高速な製造プロセスの出力を最大化するツールを開発している。 より広範なソリューション 極めて広範な基板にコーティングする必要がある場合、または極めて高いスループットを達成する必要がある場合、リニアマグネトロンは完璧なソリューションを提供します。 特許取得の利点 オングストローム・サイエンスのリニアマグネトロンは、特許取得の完全カプセル化されたプロファイルNdFeB希土類磁石と乱流水流を組み込み、比類のない性能を提供します。 標準継手 当社では、ISO ...
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... オングストローム・サイエンス社は、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高い均一性とターゲット利用率、あるいはその2つの完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 Angstrom Advantage™がお客様のプロセスに最適化されることをお約束します。 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要であろうとなかろうと、アングストローム・サイエンスは、お客様のプロセスに最適化されたAngstrom ...
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... ロータリーマグネトロンは、マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形マグネトロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリーマグネトロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転するマグネットセットによって一掃されます。 オングストローム・サイエンス社は、直径4″(100mm)から16″(406mm)までのロータリーマグネトロンを提供しており、調整可能な磁石構成でプロセスの最適化と均一性の向上を可能にするように設計されています。当社のマグネトロンは、内部または外部構成で取り付けることができます。 回転マグネトロンは、基板を動かすことなく優れた均一性を提供します。 ...
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... オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom ...
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... 今日のコンパクトディスク業界は、ますます複雑化する生産上の課題に直面している。フィルムの均一性に対する要求は不変ですが、プロセスの経済性は、材料コストの変化によって劇的に変化します。 多くのディスク・メーカーにとって、それは2つの大きく異なるシステムを導入することを意味します。1つは低コストの材料で最大のスループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価なターゲット材料で高いターゲット利用率を達成するためです。 オングストロームサイエンスのCD/DVDマグネトロンは、マグネットアレイをドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングストローム・サイエンスのCD ...
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