Angstrom Sciencesのオーダーメイドマグネトロン

... サイズラインナップ 円形 マグ ネト ロンソースは、 ターゲット直径1インチ（25mm）から16インチ（406mm）以上まで、標準仕様またはカスタム仕様で提供可能です。 迅速かつ容易な ターゲット交換 当社の小型円形カソードに採用された、特許取得済みのネジ式 ターゲットクランプおよびアノードシールドにより、補助工具を使用せずに ターゲットを交換できます。また、内蔵の調整機能により、スペーサーを使用することなく、さまざまな厚さの ターゲットを取り付けることが可能です。 低圧力・高出力 ONYX® マグ ネト ロンは、極めて低い ...

... Angstrom Sciences社のリニア マグ ネト ロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場が ターゲット表面全体に均一に広がり、 ターゲットの利用率を高めるとともに、 ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべての マグ ネト ロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、 ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス ...

... スループット、高い均一性や ターゲット利用率、あるいはその両者の完璧なバランス が必要な場合でも、Angstrom Advantage™がお客様のプロセスに最適化されるよう確実に実現します。 無限の選択肢 カスタム マグ ネト ロン、取り付け金具、フランジ、シャッ ターアセンブリ、ガスマニホールド、あるいは完全な真空 チャンバーのいずれが必要であっても、Angstrom ...

... ロ ータリー マグ ネト ロンは、 マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形 マグ ネト ロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、 ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロ ータリー マグ ネト ロンでは、 ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転する マグネットセットによって一掃されます。 オングス トローム・サイエンス社は、直径4″(100mm ...

... オングス トロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端の マグ ネト ロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングス トロームサイエンスは マグ ネト ロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングス トローム・サイエンスは ...

... 。1つは低コストの材料で最大のスループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価な ターゲット材料で高い ターゲット利用率を達成するためです。 オングス トロームサイエンスのCD/DVD マグ ネト ロンは、 マグネットアレイを ドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングス トローム・サイエンスのCD ...