パルスマグネトロン

オーダーメイド円形

アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO NW規格のフィッティングに加え、Conflat®金属シールフランジを採用しています。すべてのユーティリティは常圧に保たれており、標準的なOリング圧縮フィッティングを介してアクセスできるため、あらゆる真空システムへの設置が容易です。 幅広いサイズラインナップ 円形マグネトロンソースは、ターゲット直径1インチ（25mm）から16インチ（406mm）以上まで、標準仕様またはカスタム仕様で提供可能です。 迅速かつ容易なターゲット交換 当社の小型円形カソードに採用された、特許取得済みのネジ式ターゲットクランプおよびアノードシールドにより、補助工具を使用せずにターゲットを交換できます。また、内蔵の調整機能により、スペーサーを使用することなく、さまざまな厚さのターゲットを取り付けることが可能です。 低圧力・高出力 ONYX®マグネトロンは、極めて低い圧力（10-4 Torrの範囲まで）で動作可能であり、当社の直接冷却設計により、連続運転で最大250ワット/平方インチ（30ワット/平方センチメートル）の出力密度を実現します。