フラットマグネトロン

円筒形

アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリング用途に提供する最先端技術で国際的に知られています。今回、当社は、お客様の既存の円筒形マグネトロンに、当社の特許取得済みプロファイル型マグネット設計を後付けする方法を開発しました。これにより、お客様のプロセスに「Angstrom Advantage™」をもたらします。 経済的なソリューション 円筒形マグネットの改造により、既存の円筒形アセンブリを交換する場合の約3分の1のコストで、上記のすべてのメリットを享受できます。 •ステンレス鋼で完全に封入されたマグネット > •高効率な水流 •既存のすべてのターゲット設計に対応 •シームレスな統合 •調整可能な均一性 •高度なターンアラウンドにより、より平坦なエロージョンプロファイルが得られます •成膜プロファイルの改善により、チャンバー壁面へのデブリの蓄積が減少します •磁場強度の向上により、より低い電力レベルで標準的な成膜速度を達成できます