円形マグネトロン

... アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO ...

... 高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される。 ...

... ロータリーマグネトロンは、マグネットセットが中心軸を中心に機械的に回転する円形マグネトロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。ロータリーマグネトロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で回転するマグネットセットによって一掃されます。 オングストローム・サイエンス社は、直径4″(100mm)から16″(406mm)までのロータリーマグネトロンを提供しており、調整可能な磁石構成でプロセスの最適化と均一性の向上を可能にするように設計されています。当社のマグネトロンは、内部または外部構成で取り付けることができます。 回転マグネトロンは、基板を動かすことなく優れた均一性を提供します。 ...

... 間接冷却型マグネトロンは、円形カソードの冷却水とスパッタリングターゲットの間に中間壁を備えています。この壁は、水と真空との間に恒久的なシールを形成し、ターゲットが「スパッタリングによって貫通」した場合に発生しうる漏れを防止します。 Angstrom Sciences社の1インチ～4インチ（25mm～100mm）間接冷却式円形マグネトロンには、さまざまな厚さのスパッタリングターゲットに合わせて調整可能なネジ式ターゲットクランプとアノードシールドが採用されています。このネジ式設計により、ターゲットの交換は迅速かつ容易に行え、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプとアノードシールドにより、コンパクトな円形マグネトロンヘッドが実現されています。これにより、アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、狭い真空チャンバーにも設置可能であり、従来のマグネトロンと比較して、表面積に対するより大きな基板のスパッタリングが可能です。 間接冷却型マグネトロンは、低出力の用途に推奨されており、研究開発用途に最適な選択肢です。 ...

... 基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングストローム・サイエンスの高温サーキュラー・マグネトロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラーマグネトロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。 ...

... 高出力RFマグネトロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRFマグネトロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、マグネトロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングストロームサイエンスのハイパワーRFマグネトロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に均一に供給するように設計されています。 ハイパワーRFマグネトロンは、サーキュラーとリニアの両方の構成でご利用いただけます。 ...