Angstrom Sciencesの円形マグネトロン

... オングス トローム・サイエンス社の 円形 マグ ネト ロンは、Angstrom Advantage™と、構成とプロセス性能においてほぼ無限の可能性を提供する他の多くの設計特徴により、スパッタリング業界の標準として認識されるようになりました。 そのコンパクトな設計により、当社の 円形 マグ ネト ロンは、最小の真空チャンバー用の最も複雑なクラスターアセンブリを含む、あらゆる新規またはレ トロフィットアプリケーションに理想的です。 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、マイクロ波 ...

... のスパッタリングカソードを開発しました。特許取得済みの乱流ターゲット冷却に加え、アングス トローム・サイエンシズの高インパルスパワーパルス マグ ネト ロンスパッタリングカソードには、プロセス動作中に最適な冷却を維持するため、アノード本体と取り付けフランジに追加の冷却チャンネルが組み込まれています。 その他の特徴として、ターゲット寿命を通じてターゲット表面の電界強度を一定に保つパッシブおよびアクティブ マグネットアレイがあり、これはHIPIMSプロセスにおいてアーク放電の低減とスパッタされた材料の最適なイオン ...

... ロータリー マグ ネト ロンは、 マグネットセットが中心軸を中心に機械的に 回転する 円形 マグ ネト ロンの変形である。この実施形態は、もともと半導体用途に開発されたもので、可能な限り小さなカソード直径で固定基板を均一にコーティングすることができます。この技術の他の用途としては、ターゲット面に再蒸着された材料が成長膜に欠陥を発生させる場合があります。 ロータリー マグ ネト ロンでは、ターゲット面全体が20～600RPMの間で 回転する マグネットセットによって一掃されます。 オングス トローム・サイエンス社は、直径4″(100mm ...

... 必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプと陽極シールドは、コンパクトな 円形 マグ ネト ロンヘッドを作ります。これにより、オングス トローム・サイエンスの 円形 マグ ネト ロンは、限られた真空チャンバーに適合し、従来の マグ ネト ロンよりも表面積の割に大きな基板をスパッタリングすることができる。 間接冷却 マグ ネト ロンは低電力アプリケーションに推奨され、研究開発アプリケーションに理想的な選択肢です。 間接冷却 マグ ネト ロンの詳細については、412-469-8466までお電話いただくか、オンラインでお問い合 ...

... 基板を長時間高熱にさらす必要のあるアプリケーションのために、アングス トローム・サイエンスの高温サーキュラー・ マグ ネト ロンは、カソードが高熱条件下でも性能パラメータを維持できるように、セラミック絶縁体と真空シールで最適化されています。200度、300度、450度の高温設計が可能です。 高温サーキュラー マグ ネト ロンは、10-9mTorr範囲のベース圧力用に設計されており、熱サイクル中に発生する可能性のある変動に対して、リークや膜質の逸脱がないように特別に設計されています。 ...

... 高出力RF マグ ネト ロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRF マグ ネト ロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、 マグ ネト ロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングス トロームサイエンスのハイパワーRF マグ ネト ロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に ...