円筒形マグネトロン

... アングストローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型マグネトロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングストローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングの用途においても、これらの利点を提供できるよう特別に設計された、コンパクトで軽量、かつ経済的な円筒型マグネトロンを開発しました。 カスタム設計 3インチ（75mm）または5インチ（125mm）のバッキングチューブ径を採用し、長さ最大4メートルまでのドロップイン型およびサイドマウント型の完全なアセンブリをご用意しています。また、ソース間距離を最小限に抑えた複数のインラインアレイも利用可能であり、コンパクトで高スループットな生産システムを実現します。 経済的で完全互換性のある投資 ONYX-Revolution™は、あらゆるターゲットタイプに対応できるようカスタマイズされた納期で提供される、汎用的かつコスト効率に優れたマグネット設計を採用しています。また、市販の部品を使用して設計されているため、低コストで長期的な投資と信頼性を実現しています。 特許取得技術 Angstrom ...

... 高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される。 ...

... オングストローム・サイエンス社は、マグネトロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングストローム・サイエンシズは、世界最先端のマグネトロン、高品質の蒸着材料、包括的な技術サポートを提供することで、お客様が最も生産的で費用対効果の高い薄膜アプリケーションを開発するお手伝いをすることに専念しています。 また、お客様にご満足いただけるよう、万全の体制を整えております。マグネトロンを業界最長の2年保証でサポートするのはそのためです。 ...

... アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリング用途に提供する最先端技術で国際的に知られています。今回、当社は、お客様の既存の円筒形マグネトロンに、当社の特許取得済みプロファイル型マグネット設計を後付けする方法を開発しました。これにより、お客様のプロセスに「Angstrom Advantage™」をもたらします。 経済的なソリューション 円筒形マグネットの改造により、既存の円筒形アセンブリを交換する場合の約3分の1のコストで、上記のすべてのメリットを享受できます。 •ステンレス鋼で完全に封入されたマグネット ...

... 高出力RFマグネトロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRFマグネトロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、マグネトロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングストロームサイエンスのハイパワーRFマグネトロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に均一に供給するように設計されています。 ハイパワーRFマグネトロンは、サーキュラーとリニアの両方の構成でご利用いただけます。 ...

... 今日のコンパクトディスク業界は、ますます複雑化する生産上の課題に直面している。フィルムの均一性に対する要求は不変ですが、プロセスの経済性は、材料コストの変化によって劇的に変化します。 多くのディスク・メーカーにとって、それは2つの大きく異なるシステムを導入することを意味します。1つは低コストの材料で最大のスループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価なターゲット材料で高いターゲット利用率を達成するためです。 オングストロームサイエンスのCD/DVDマグネトロンは、マグネットアレイをドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングストローム・サイエンスのCD ...