SIDABREは、平面および円筒形状を有するシングルおよびデュアルマグネトロンを開発し、別個の部品として使用することも、システムに統合することもできます。
これらのデバイスは、クランプまたは接着ターゲット、直接または間接冷却、外部または内部の電源および冷却水の接続などの特別な機能を装備することができます。
矩形ターゲットと円筒ターゲットの最大使用
可能長さは 2.0 m で、円形ターゲットの最大直径は 400 mm です。
私たちは、特定のプロセスの要件に応じて、ターゲットまたは磁石のいずれかで回転を行う円筒形の回転可能なマグネトロンを開発します。
当社の真空コーティングシステムは、お客様の特別なニーズにカスタマイズされたソリューションに対応するために必要な手段を備えています。 SIDRABEは、電源の有無にかかわらずマグネトロンを装備したシステムや、DC、Pulsed-DC、MF電源を搭載したPEMおよびガス供給システムを提供できます。
SIDRABEは、装置設計における幅広い経験により、既存の真空蒸着システムの改造、アップグレード、改造などのサービスをさらに提供することができます。
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