ロータリーマグネトロン

円筒形

アングストローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型マグネトロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングストローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングの用途においても、これらの利点を提供できるよう特別に設計された、コンパクトで軽量、かつ経済的な円筒型マグネトロンを開発しました。 カスタム設計 3インチ（75mm）または5インチ（125mm）のバッキングチューブ径を採用し、長さ最大4メートルまでのドロップイン型およびサイドマウント型の完全なアセンブリをご用意しています。また、ソース間距離を最小限に抑えた複数のインラインアレイも利用可能であり、コンパクトで高スループットな生産システムを実現します。 経済的で完全互換性のある投資 ONYX-Revolution™は、あらゆるターゲットタイプに対応できるようカスタマイズされた納期で提供される、汎用的かつコスト効率に優れたマグネット設計を採用しています。また、市販の部品を使用して設計されているため、低コストで長期的な投資と信頼性を実現しています。 特許取得技術 Angstrom Sciences社の特許取得済みプロファイル磁石技術により、ソースと基板間の成膜プロファイルがより均一になります。この改善された成膜プロファイルにより、チャンバー壁面へのデブリの蓄積が低減されます。 さらに、Angstrom Sciences社の磁石アレイはより高い磁場強度を実現しており、ユーザーはより低い電力でスパッタリングプロセスを運転しながら、標準的な成膜速度を達成することができます。