円筒形マグネトロン

円筒形マグネトロンは、薄膜の均一性と最大のターゲット利用率を達成するために、ガラスコーティング業界で非常に人気があります。 最近、Angstrom Sciencesは、コンパクトで軽量で経済的な新しい種類の円筒形マグネトロンをデザインしており、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティングアプリケーションに非常に有利です。 特許を取得したプロファイル磁石技術のもう一つの注目された事実は、それがソースと基板との間の正常に近い堆積プロファイルを作ることです。 これは、チャンバー壁の破片の蓄積を減少させることによって知られている。 Angstrom Sciencesのマグネットアレイが提供するより高い磁界強度は、典型的な堆積レートを達成するのに役立ちます。