パルスマグネトロン

オーダーメイドリニア

より多くの産業がマグネトロンスパッタリングのスピード、制御性、そして最終的な利益を発見するにつれて、アングストローム・サイエンシズは、これらの大規模で高速な製造プロセスの出力を最大化するツールを開発している。 より広範なソリューション 極めて広範な基板にコーティングする必要がある場合、または極めて高いスループットを達成する必要がある場合、リニアマグネトロンは完璧なソリューションを提供します。 特許取得の利点 オングストローム・サイエンスのリニアマグネトロンは、特許取得の完全カプセル化されたプロファイルNdFeB希土類磁石と乱流水流を組み込み、比類のない性能を提供します。 標準継手 当社では、ISO NW標準継手とConflat®メタルシールフランジを使用しています。すべてのユーティリティは大気圧に保たれ、標準のOリング圧縮継手を介してアクセスできるため、どのような真空システムにも簡単に設置できます。 総合的なパワー互換性 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、マイクロ波パワーに対応します。 実証された性能 これらのマグネトロンは、オングストロームサイエンスを業界の新しい標準にした比類のない性能を提供します。 極めて低い圧力と極めて高い出力での標準運転は、どのようなアプリケーションにおいても均一性、利用率、速度の完璧なバランスを提供します。 どんな長さにも対応 オングストローム・サイエンスのリニアカソードは、1"/25mmから16"/406mmまでのターゲット幅と、185"/4700mmまでの長さを取り揃えています。もちろん、お客様の生産ニーズに合わせたカスタムマグネトロンの設計・製作も承ります。