パルスマグネトロン

オーダーメイドリニア

Angstrom Sciences社のリニアマグネトロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべてのマグネトロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス導入口、堅牢なアノード壁、最先端材料の採用といった特徴により、お客様のスパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ますます多くの業界がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom Sciences は、こうした大規模かつ高速な製造プロセスの生産性を最大化するためのツールを開発しています。 大規模なソリューション 極めて幅の広い基板のコーティングや、極めて高いスループットの達成が必要な場合、リニアマグネトロンは理想的なインラインソリューションを提供します。 あらゆる電源への対応 低インピーダンスのヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源に対応しています。 標準フィッティング 取り付けには、ISO NW規格のフィッティング、Conflat®金属シールフランジ、またはカスタムOリングシールフランジを使用可能です。すべてのユーティリティは通常、大気圧で維持され、標準的なOリング圧縮フィッティングを介してアクセスできるため、あらゆる真空システムへの設置が容易です。 実証済みの性能 これらのマグネトロンは、Angstrom Sciencesを業界の標準たらしめた比類のない性能を発揮します。