パルスマグネトロン

オーダーメイド

Angstrom Sciencesは、ほぼすべての標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 さらなる機能 アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンの設計、開発、製造、試験をすべて自社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトにおいて、最高品質と厳格な管理を保証いたします。 優れた技術 Angstrom Sciencesでは、有限要素法（FEA）によるマグネットモデリングを用いて、お客様のプロセス 仕様に合わせて磁気特性をカスタマイズします。高いスパッタレートやスループット、高い均一性やターゲット利用率、あるいはその両者の完璧なバランス が必要な場合でも、Angstrom Advantage™がお客様のプロセスに最適化されるよう確実に実現します。 無限の選択肢 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、あるいは完全な真空 チャンバーのいずれが必要であっても、Angstrom Sciencesはお客様をサポートする準備が整っています。 カスタムマグネトロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガスマニホールド、あるいは完全な真空 あらゆる電源への完全な互換性 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を備えています。 チャンバーなど、どのようなご要望であっても、アングストローム・サイエンシズはお客様をサポートいたします。 徹底した取り組み アングストローム・サイエンシズのすべてのマグネトロンには、製造上の欠陥および材料の欠陥に対して、2年間の完全保証が付いています。 マグネトロンは当社の主力事業であり、お客様にご満足いただけるよう万全の体制を整えております。