パルスマグネトロン

... アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形マグネトロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF、DC、中周波DC、パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性を実現しています。 標準フィッティング ISO ...

... Angstrom Sciences社のリニアマグネトロンには、当社が特許を取得した完全密閉型のプロファイル加工済みNdFeB希土類磁石が組み込まれており、これにより磁場がターゲット表面全体に均一に広がり、ターゲットの利用率を高めるとともに、ターゲット表面からの微粒子汚染を最小限に抑えます。 また、当社のすべてのマグネトロンスパッタリング用カソードには乱流水流が採用されており、最適な熱伝達を実現するとともに、ターゲット表面のホットスポットに起因する不均一性を最小限に抑えます。これらに加え、一体型プロセスガス導入口、堅牢なアノード壁、最先端材料の採用といった特徴により、お客様のスパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ますます多くの業界がマグネトロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom ...

... 高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される。 ...

... Angstrom Sciencesは、ほぼすべての標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 さらなる機能 アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンの設計、開発、製造、試験をすべて自社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトにおいて、最高品質と厳格な管理を保証いたします。 優れた技術 Angstrom ...

... 間接冷却型マグネトロンは、円形カソードの冷却水とスパッタリングターゲットの間に中間壁を備えています。この壁は、水と真空との間に恒久的なシールを形成し、ターゲットが「スパッタリングによって貫通」した場合に発生しうる漏れを防止します。 Angstrom Sciences社の1インチ～4インチ（25mm～100mm）間接冷却式円形マグネトロンには、さまざまな厚さのスパッタリングターゲットに合わせて調整可能なネジ式ターゲットクランプとアノードシールドが採用されています。このネジ式設計により、ターゲットの交換は迅速かつ容易に行え、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプとアノードシールドにより、コンパクトな円形マグネトロンヘッドが実現されています。これにより、アングストローム・サイエンシズの円形マグネトロンは、狭い真空チャンバーにも設置可能であり、従来のマグネトロンと比較して、表面積に対するより大きな基板のスパッタリングが可能です。 間接冷却型マグネトロンは、低出力の用途に推奨されており、研究開発用途に最適な選択肢です。 ...

... アングストローム・サイエンシズは、マグネトロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のMRC型マグネトロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレトロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom Advantage™をもたらします。 経済的なソリューション MRCマグネットレトロフィットは、既存のMRCアセンブリ全体を交換するコストの約3分の1で、当社のプロファイルドマグネットテクノロジーの性能上の利点を提供します。 -完全に密閉された磁石 -乱流防止 -熱効率の向上 -迅速で簡単なドロップイン設計 -シームレスな統合 -高利用率アレイ ...

... オングストロームサイエンスは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端のマグネトロンを提供しています。しかし、アプリケーションはそれぞれ異なることを知っています。そのため、お客様の仕様に特別に適応する独自のモジュラーアプローチを開発しました。 その他の機能 オングストロームサイエンスはマグネトロンの設計、エンジニアリング、製造、テストを社内で行っています。そのため、お客様のカスタムプロジェクトに対して最高の品質と管理を保証することができます。 オングストローム・サイエンスは、有限要素解析（FEA）磁石モデリングを使用して、お客様のプロセス仕様に合うように磁石をカスタムプロファイルします。 仕様に対応します。高レートとスループット、高均一性とターゲット利用率、あるいは両者の完璧なバランスなど、どのようなご要望にもお応えします。 お客様のプロセスに最適なAngstrom ...