Angstrom Sciencesのパルスマグネトロン

... アングス トローム・サイエンシズの円形 マグ ネト ロンは、「Angstrom Advantage™」をはじめとする数々の設計上の特徴により、構成やプロセス性能においてほぼ無限の可能性をもたらすことから、スパッタリング業界の標準として広く認知されています。 汎用性の高いコンパクト設計 そのコンパクトな設計により、当社の円形 マグ ネト ロンは、最小の真空チャンバー向けの最も複雑なクラスターアセンブリを含め、あらゆる新規または改造用途に最適です。 あらゆる電源との互換性 低インピーダンスのヘッドにより、RF ...

... スパッタリングプロセスにおいて比類のない性能と信頼性を保証します。 ま すます多くの業界が マグ ネト ロンスパッタリングの速度、制御性、および収益面でのメリットに気付き始めている中、Angstrom Sciences は、こうした大規模かつ高速な製造プロセスの生産性を最大化するためのツールを開発しています。 大規模なソリューション 極めて幅の広い基板のコーティングや、極めて高いスループットの達成が必要な場合、リニア マグ ネト ロンは理想的なインラインソリューションを提供します。 あらゆる電源への対応 ...

... 高出力 パルス マグ ネト ロンスパッタリング（HiPIMS）は、 パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間の パルスを用いてプラ ズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短い パルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度が パルス状に印加される ...

... されるよう確実に実現します。 無限の選択肢 カスタム マグ ネト ロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガ スマニホールド、あるいは完全な真空 チャンバーのいずれが必要であっても、Angstrom Sciencesはお客様をサポートする準備が整っています。 カスタム マグ ネト ロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガ スマニホールド、あるいは完全な真空 あらゆる電源への完全な互換性 低インピーダンスヘッドは、RF、DC、中周波DC、 パルスDC、HiPIMS、およびマイクロ波電源との互換性 ...

... 容易に行え、補助的な工具や装置を必要としません。 さらに、ネジ式ターゲットクランプとアノードシールドにより、コンパクトな円形 マグ ネト ロンヘッドが実現されています。これにより、アングス トローム・サイエンシズの円形 マグ ネト ロンは、狭い真空チャンバーにも設置可能であり、従来の マグ ネト ロンと比較して、表面積に対するより大きな基板のスパッタリングが可能です。 間接冷却型 マグ ネト ロンは、低出力の用途に推奨されており、研究開発用途に最適な選択肢です。 ...

... アングス トローム・サイエンシズは、 マグ ネト ロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のMRC型 マグ ネト ロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発し、お客様のプロセスにAngstrom ...

... 提供いたします。 カスタム マグ ネト ロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガ スマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要であろうとなかろうと、アングス トローム・サイエンスは、お客様のプロセスに最適化されたAngstrom Advantage™を提供します。 オングス トローム・サイエンスはお客様をサポートします。 カスタム マグ ネト ロン、取り付け金具、フランジ、シャッターアセンブリ、ガ スマニホールド、または完全な真空チャンバーが必要な場合でも、オングス トロームサイエンスはお客様をサポート ...