Angstrom Sciencesの円筒形マグネトロン

... されています。 オングス トローム・サイエンスの特許取得済みプロファイル・ マグネット技術は、ソースと基板間の蒸着プロファイルをより正常なものにします。改善された蒸着プロファイルは、チャンバー壁へのデブリ蓄積を低減します。 さらに、アングス トローム・サイエンシズの マグネットアレイは、より高い磁場強度を提供するため、ユーザーはスパッタリングプロセスを低電力で実行し、一般的な蒸着速度を達成することができます。 本来、シリンドリカル マグ ネト ロンは、同じ空間面積を持つプレーナー マグ ネト ロンの最大3倍の量のターゲット ...

... のスパッタリングカソードを開発しました。特許取得済みの乱流ターゲット冷却に加え、アングス トローム・サイエンシズの高インパルスパワーパルス マグ ネト ロンスパッタリングカソードには、プロセス動作中に最適な冷却を維持するため、アノード本体と取り付けフランジに追加の冷却チャンネルが組み込まれています。 その他の特徴として、ターゲット寿命を通じてターゲット表面の電界強度を一定に保つパッシブおよびアクティブ マグネットアレイがあり、これはHIPIMSプロセスにおいてアーク放電の低減とスパッタされた材料の最適なイオン ...

... オングス トローム・サイエンス社は、 マグ ネト ロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングス トローム・サイエンシズは、世界最先端 ...

... アングス トローム・サイエンシズは、 マグ ネト ロンスパッタリングアプリケーションにもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存の 円筒 形マ グネ トロンに当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発しました。 経済的なソリューション 円筒 形マ グネットのレ トロフィットは、既存の 円筒形アセンブリを交換するコストの約3分の1で、上記のすべての利点を提供します。 -磁石はステンレス鋼で完全に密閉されています。 -高効率の水流 -既存のすべてのターゲット設計と互換性あり -シームレス ...

... 高出力RF マグ ネト ロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRF マグ ネト ロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、 マグ ネト ロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングス トロームサイエンスのハイパワーRF マグ ネト ロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に ...

... スループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価なターゲット材料で高いターゲット利用率を達成するためです。 オングス トロームサイエンスのCD/DVD マグ ネト ロンは、 マグネットアレイを ドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングス トローム・サイエンスのCD ...