Angstrom Sciencesの円筒形マグネトロン

... アングス トローム・サイエンシズは、事実上あらゆる標準的なスパッタリングプロセスに対応する最先端の マグ ネト ロンを提供しています。しかし、用途ごとに要件が異なることも承知しています。そのため、お客様の仕様にきめ細かく対応できる独自のモジュール式アプローチを開発しました。 円筒型 マグ ネト ロンは、ターゲットの利用率を最大化しながら均一な薄膜を形成できることから、ガラスコーティング業界で長年にわたり信頼されてきました。今回、アングス トローム・サイエンシズは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、ウェブコーティング ...

... 高出力パルス マグ ネト ロンスパッタリング（HiPIMS）は、パルススパッタリング技術における比較的新しい進歩であり、非常に高エネルギーで短時間のパルスを用いてプラズマ放電を発生させ、スパッタされる原子の大部分をイオン化させるものです。これにより、イオン化されたフラックスを誘導することで、コーティング特性の制御性を高めることが可能となります。 HiPIMSでは、比較的短いパルス幅で、同様に低い周波数と長いサイクル間隔を伴い、スパッタリングターゲットに高いピーク電圧と高い電流密度がパルス状に印加される ...

... オングス トローム・サイエンス社は、 マグ ネト ロンスパッタリング用途にもたらす最先端技術で国際的に知られています。この度、既存のBOCCT / HRC / HLK / CVC / Cylindrical / MRCやその他のOEMのカソードに、当社の特許取得済みプロファイル磁石設計をレ トロフィットする方法を開発しました。当社の設計と高度なモデリング能力を用いて、より良いターゲット利用、均一性の向上、微粒子汚染の減少を提供する性能の向上を設計することができます。 アングス トローム・サイエンシズは、世界最先端 ...

... アングス トローム・サイエンシズは、 マグ ネト ロンスパッタリング用途に提供する最先端技術で国際的に知られています。今回、当社は、お客様の既存の 円筒 形マ グネ トロンに、当社の特許取得済みプロファイル型 マグネット設計を後付けする方法を開発しました。これにより、お客様のプロセスに「Angstrom ...

... 高出力RF マグ ネト ロンスパッタリングカソードは、特定の設計基準が建設に組み込まれていれば、研究開発および生産アプリケーションで成功裏に実施することができます。 円形ハイパワーRF マグ ネト ロンは直接冷却され、外径2″～8″で入手可能です。 RFパワーは高周波で動作するため、 マグ ネト ロンスパッタリングカソードがそのパワーを抑制するように設計されていることが重要です。オングス トロームサイエンスのハイパワーRF マグ ネト ロンは、低反射電力とRF閉じ込めを提供しながら、RFエネルギーをターゲット表面全体に ...

... スループットを達成するため、もう1つは貴金属やその他の高価なターゲット材料で高いターゲット利用率を達成するためです。 オングス トロームサイエンスのCD/DVD マグ ネト ロンは、 マグネットアレイを ドロップインできるように設計されているので、技術者は一つのシステムで標準化でき、性能を最適化するためにアレイを交換するだけです。 オングス トローム・サイエンスのCD ...