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ウェーハ可動システム TAS300
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特徴
- 製品用途
- ウェーハ
詳細
TDKはそれを導入して自慢しているである自由な汚染汚染防止技術!
私達の新しいTAS300 FOUP Loadportは半導体工業の最も最近の条件に一致させている。
それは提供高い信頼性、自由な粒子の汚染である!
利点:
ポッドの両立性
各会社のFOUPの安全な開始そして完了を可能にするクッションのメカニズム
Entegris
向こうずねEtsuポリマー
Kakizaki Mfg.
Dainichiの障子
Asyst
自由な粒子は総汚染防止技術に基づいていた
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