ナノ秒レーザー システム TruMicro Serie 8000

パルスショートインパルス固体

製品概要
TruMicro 8000シリーズは、産業用マイクロ加工および大面積製造向けに設計された高出力UV短パルス固体レーザです。代表機種のTruMicro 8320は平均出力と343 nmのUV波長を組み合わせ、特定材料での吸収を高め、フレキシブルOLEDのLaser Lift‑Off（LLO）などの工程に適しています。複数台同期により生産性を拡張できます。

主な利点

• 高いUV出力：短波長により微細加工や薄膜分離に有利。
• 安定したプロセス：内部出力制御により一定のパルスエネルギーを供給。
• 生産性の拡張：最大4台まで同期して出力を組み合わせ可能。

用途
フレキシブルOLEDディスプレイの大量生産向けLaser Lift‑Offに最適。大面積のマイクロ加工、薄膜処理、ライン生成光学の用途にも適用でき、感度の高い有機層を保護します。

ソフトウェア／制御
TruControlはリアルタイムの出力制御、インターフェース管理、TRUMPFレーザ技術全体の統一制御アーキテクチャを提供します。リモートサービスによる安全な遠隔診断で稼働率向上を支援します。

オプション

• リモートサービス：診断・設定のための安全なリモートアクセス。
• マルチレーザ同期：最大4台まで同期可能で出力を組み合わせて生産性を向上。
• デジタル連携：OPC UAなどのインターフェースでOseon、監視・解析ツールやサードパーティソフトと統合可能。

技術データ（代表例）

• 代表モデル：TruMicro 8320
• 平均出力：200 W
• ビーム品質 (M²)：22.5 ± 2.5
• 波長：343 nm（紫外）
• パルス幅：15 ns ± 3 ns
• 最大パルスエネルギー：20 mJ
• 最小繰返し周波数：10 kHz
• レーザヘッド寸法（W×H×D）：810 mm × 450 mm × 2131 mm
• 電源ユニット寸法（W×H×D）：1090 mm × 1798 mm × 650 mm
• 設置周囲温度：20 °C - 27 °C