イオンスパッタ源 MERKURION-35-PRO

カテゴリー - MERKURION® pro 商品説明 - イオンゲッターポンプ。 ダイオードポンプエレメント式 (正極性)付き 入口フランジ DN 40 CF 公称排気速度39 l/s。 電気コネクタ 10kV SHV (SAFECONNと互換性あり)で 電圧 +3000 ...+7000 V 納入条件 真空部品洗浄済み（純度クラスPC2）。 ポンプダウン。 焼成（真空度クラスUHV 1）。 ピンチオフで封印 ベークアウト温度（磁石なし）- 450 °C ベークアウト温度（磁石付き） - 250 °C 商品番号 - 370442 接続タイプ - CF 呼び径 DN - 40 外径 - 70 mm 最小動作電圧 - DC 3 kV 高電圧接続 - 10 kV SHV (SAFECONN) ヒーター付き - いいえ 最大使用電圧 - 7kV DC 希ガス用安定器 - なし ポンピング素子 - 従来型ダイオード 純度クラス - PCS 最小終止圧力 - 1E-11 mbar 最大始動圧力 - 1E-3 mbar 公称ポンピング速度 - 39 l/s