イオンスパッタ源

Mark II+グリッドレスイオンソース ビーム出力の増加およびメンテナンス機能を改善 劇的に増加したビーム電流と取り外し可能なアノード部品により、Veecoの業界トップレベルの光学コーティング装置用グリッドレスイオンソースに更なる改善を与えることにより、MarkII+エンドホールイオンソースは新しい価値を生み出しました。 高速処理および大型チャンバーのために、最大70%増になったビーム電流 取り外し可能なアノードアセンブリにより、より迅速なメンテナンスとダウンタイムの削減を実現 取付が簡単で信頼性の高い、統合的なフィードスルーおよびケーブル敷設 反応性気体、不活性気体および高出力密度に適合 Mark ...

16cm RFイオンソース 高反応処理用の広範で均一なRFイオン ソース Veecoは、高度に制御される光学コーティングのイオン ビーム アシストまたはイオン ビーム蒸着などの反応処理用に、広範で均一なイオン ビーム ソースを提供しています。 幅広い動作範囲50 から 1500eV および 75 から 700mA 不活性、酸化環境の両方で信頼できる、統一動作 低から高出力動作用に水冷式 4グリッド設計（オプション）で、非常に高いコリメーションを実現 低メンテナンスで、長い生産が可能な業界唯一のフィラメントレスRF中和物が特徴です。 安定した効率の良いプラズマ動作によって、正確な制御と高再現性が可能 バッチおよびロードロック生産プロセスに最適

... カテゴリー - MERKURION® pro 商品説明 - イオンゲッターポンプ。 ダイオードポンプエレメント式 (正極性)付き 入口フランジ DN 40 CF 公称排気速度39 l/s。 電気コネクタ 10kV SHV (SAFECONNと互換性あり)で 電圧 +3000 ...+7000 V 納入条件 真空部品洗浄済み（純度クラスPC2）。 ポンプダウン。 焼成（真空度クラスUHV 1）。 ピンチオフで封印 ベークアウト温度（磁石なし）- 450 °C ベークアウト温度（磁石付き） ...

... カテゴリー - メルクリオン®ベーシック 商品説明 - イオンゲッターポンプ。 ダイオードポンプ素子スタイル (正極性)付き 入口フランジ DN 40 CF 公称排気速度10 l/s。 電気コネクタ 10kV SHV (SAFECONNと互換性あり)で +3000 ..+7000 V ベークアウト温度（磁石なし） - 450 °C ベークアウト温度（磁石付き） - 250 °C 製品番号 - 374038 接続タイプ - CF 呼び径 DN - 40 外径 - 70 ...

... カテゴリー - メルクリオン®ベーシック 商品説明 - イオンゲッターポンプ。 ダイオードポンプ素子スタイル (正極性)付き 入口フランジ DN 100 CF 公称排気速度 145 l/s。 電気コネクタ 10kV SHV (SAFECONNと互換性あり)で +3000 ..+7000 V ベークアウト温度（磁石なし） - 450 °C ベークアウト温度（磁石付き） - 250 °C 製品番号 - 373823 接続タイプ - CF 呼び径 DN - 100 外径 ...