イオンスパッタ源 Mark II+

Mark II+グリッドレスイオンソース ビーム出力の増加およびメンテナンス機能を改善 劇的に増加したビーム電流と取り外し可能なアノード部品により、Veecoの業界トップレベルの光学コーティング装置用グリッドレスイオンソースに更なる改善を与えることにより、MarkII+エンドホールイオンソースは新しい価値を生み出しました。 高速処理および大型チャンバーのために、最大70%増になったビーム電流 取り外し可能なアノードアセンブリにより、より迅速なメンテナンスとダウンタイムの削減を実現 取付が簡単で信頼性の高い、統合的なフィードスルーおよびケーブル敷設 反応性気体、不活性気体および高出力密度に適合 Mark IIソースと同じ取付プレートを使用しより小型で高速なイオンソースにアップグレード 柔軟な統合により、スペースを節約するシステム設計と広いビームアングルを実現