イオン ビーム彫刻機 NEXUS® IBE-350Se™
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特徴
- 技術
- イオン ビーム
詳細
NEXUS IBE-350Seイオンビーム エッチングシステム
高スループットのABSディープ キャビティ処理
VeecoのNEXUS® IBE-350Se™イオン ビーム エッチング システムは、ディープキャビティー処理と高エッチング レートのアプリケーションでの生産性向上に貢献します。特徴としては、低いCoO、高スループット、小フットプリント及びNEXUSプラットフォームにクラスタ増設できるなどがあります。
拡張基板冷却で、高出力操作
最低コストでの所有により、高スループットおよびフットプリントの削減
一般NEXUSプラットフォーム上で結合可能
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