イオン源 SOLUS™

SOLUS DC イオン ソース コントローラ 業界有数のVeeco DCグリッド イオン ソース用電源供給システム VeecoのSOLUS™ DCイオン ソース コントローラは、最先端の高精度コントロール システム設計がなされているため、あらゆる種類のプロセスで信頼性が高く安定した電力をイオン ソース動作用に提供します。統合電源モジュールおよび比率調整可能なガス流量制御により、要求の厳しいプロセス環境においても最適なイオン ソース制御が可能です。 使いやすいワンボタン操作 手動、自動、およびリモートの動作オプション 最先端制御によるプラズマ安定性の向上 設定可能な統合ガス流量制御 カスタマイズ可能な制御設定による適応ソース動作 時間短縮のためのトラブルシューティング機能 便利なイベント/ステータス ロギング画面