イオンスパッタ源 MERKURION-150-BASIC

カテゴリー - メルクリオン®ベーシック 商品説明 - イオンゲッターポンプ。 ダイオードポンプ素子スタイル (正極性)付き 入口フランジ DN 100 CF 公称排気速度 145 l/s。 電気コネクタ 10kV SHV (SAFECONNと互換性あり)で +3000 ..+7000 V ベークアウト温度（磁石なし） - 450 °C ベークアウト温度（磁石付き） - 250 °C 製品番号 - 373823 接続タイプ - CF 呼び径 DN - 100 外径 - 152 mm 最小動作電圧 - DC 3 kV 高電圧接続 - 10 kV SHV (SAFECONN) ヒーター付き - いいえ 最大使用電圧 - 7kV DC 希ガス用安定器 - なし ポンピング素子 - 従来型ダイオード 純度クラス - PCS 最小終止圧力 - 1E-11 mbar 最大始動圧力 - 1E-3 mbar 公称ポンピング速度 - 145 l/s