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絶縁バルブ 150 series
ゲート空気操作真空

絶縁バルブ - 150 series - VAT Vakuumventile AG - ゲート / 空気操作 / 真空
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特徴

タイプ
ゲート
作動
空気操作
機能
絶縁
応用
真空, 半導体産業用
素材$
アルミニウム
その他の特徴
複動, 腐食性流体
呼び径

63 mm, 100 mm, 160 mm, 200 mm, 250 mm
(2.48 in, 3.937 in, 6.299 in, 7.874 in, 9.843 in)

圧力

最少: 4 bar
(58 psi)

最大: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 50 °C
(122 °F)

最大: 250 °C
(482 °F)

詳細

低い粒子計算および低い衝撃の影響がである適用のためになる。R & Dで、しかしまた半導体プロセス システムで頻繁に使用される。

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