ゲートバルブ 162 series
空気操作遮断アルマイト処理されたアルミ製

ゲートバルブ
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特徴

タイプ
ゲート
作動
空気操作
機能
遮断
ボディー
アルマイト処理されたアルミ製
応用
半導体産業用
その他の特徴
コンパクト, 常閉型, 単動式, 腐食性流体
呼び径

最大: 500 mm
(19.685 in)

最少: 200 mm
(7.874 in)

圧力

最大: 7 bar
(101.5 psi)

最少: 5 bar
(72.5 psi)

温度

50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)

流量

最大: 101,500 l/s
(26,813.46 us gal/s)

最少: 11,000 l/s
(2,905.89 us gal/s)

詳細

CVDやETCHなどの要求の厳しい半導体プロセス向け。

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カタログ

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。