超高真空用バルブ 010 series ゲート手動式空圧式
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特徴
- タイプ
- ゲート
- 作動
- 手動式, 空圧式
- 機能
- 絶縁
- ボディー
- 超小型, ステンレス製
- 応用
- 産業用, 超高真空用, 半導体産業用
- その他の特徴
- コンパクト, 単動式, 複動式
- 呼び径
16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0.63 in, 0.984 in, 1.575 in, 1.969 in)- 圧力
最大: 7 bar
(101.5 psi)最少: 5 bar
(72.5 psi)- 温度
50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)
詳細
モジュラー アクチュエーター概念を特色にする密集した小型UHVのゲート弁は産業およびR & Dの適用のためにうってつけである。それは半導体プロセス システムの配管で頻繁に使用される。
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