MBE装置 GEN20™

「 GEN20 ™ MBEシステムは材料研究および試作期間の環境の塗布の使用のためにうってつけである。それは構成可能のcryopanel、マニピュレーターおよびモニター装置によって来る。モジュール設計の構造を通して2つまでの成長モジュールを収容ことできる。 構造は自動化されたウエファーの移動の選択のどちらかのマニュアルを提供する。それは基質のオリエンテーションへの縦の源と製造される。これは直通に12のMBEの源の港を可能にされる。eビーム技術を加える選択はまたであるincluded. \ /html」