ガス配布装置用システム GSDS-Series

ガス ソース供給システム Veeco MBEガス ソースの精密制御用 Veeco 社のガス ソース供給システム （GSDS） は、ガスの精密制御のほか、不活性ガス、有害ガス、可燃性ガスなどの監視とインターロック制御を可能にします。Molly® ECS1成長制御ソフトウェアは、お客様の既存システムへ容易に統合できます。 あらゆるニーズとご予算に応じたさまざまなパッケージ オプションを用意しています。すべてのパッケージは、回路ごとの手動ガス管遮断バルブ、ガス フィルタ清浄器、流量コントローラ、および空気圧制御の流出入/通気バルブを備えています。 Veeco MBE ガス ソース用の高効率で安全なガス制御手段 プロセスの操作と監視を容易化 特定の用途とご予算に応じた 3 種類のモデル構成を用意しております。