光起電性貯蔵マシン NEXUS PVD-1

熱蒸発による薄膜光電子工学用

NEXUS PVD-1 PVD システム 多様なアプリケーションに対応するために多用途で使いやすいツールです。 Veeco NEXUS PVD-1は単一ウエハ蒸着モジュールで、ご要望の簡易性、信頼性、そして性能にお答えします。本システムは幅広いウエハサイズに適応し、磁性材料と同様、酸化物や窒化物の蒸着など、様々なデータストレージ アプリケーションに適しています。また、半導体、GaAs、およびパッケージング アプリケーションにも、高性能で高い費用効果で対応します。 プロセスおよび生産ニーズに対応するように簡単に構成できます。 3インチ から8インチ までのウエハサイズをサポートします。 標準アクセサリーは、カソード、ウエハチャック、ガスマニフォールド、シャッターおよびポンプパッケージを含みます。 モジュール方式により、オペレーターおよびメンテナンスのトレーニング、および予備部品のストックを簡素化できます。 NEXUS イオンビームエッチング、イオンビーム蒸着およびその他の蒸着モジュール ツールとのドック増設は簡単で短時間でできます。