MOCVD貯蔵マシン

最高の資本効率と設置面積の節約により最先端の性能を実現 VeecoのEPIK® 868は、LED業界で最高の性能を発揮するMOCVDシステムで、欠陥の少ない優れた均一性と再現性を実現します。4台リアクター構成で使用可能なEPIK 868は、独自のIsoFlange™やTruHeat™などの画期的なテクノロジーを特長としています。これらのテクノロジーにより、ウエハ キャリア全体で層状の流量と一様な温度プロファイルを実現できます。これらの技術革新により、miniLEDおよびmicroLEDに求められる歩留まりが向上します。EPIK ...

クラス最高の歩留まりと最高の生産性を組み合わせて、LED製造コストを低減 LED業界の最高の生産性を誇るMOCVDシステムであり、受賞歴のあるVeecoのEPIK® 700 MOCVDシステムは、前の世代に比べてウエハ当たりのコストを最大20%も削減します。1台リアクタ構成と2台リアクタ構成で使用可能な、EPIK 700は画期的なテクノロジーが特長で、新しいIsoFlangeによるセンター注入流量、およびウエハ キャリア全体で均一層状の流量と一様な温度プロファイルを実現するTruHeatウエハ ...

クラス最高水準の歩留まりを誇る、業界最高の生産性を誇るAs/P MOCVDシステム Veecoの新しいTurboDisc K475i As/P MOCVDシステムは、赤色、橙色、黄色（R/O/Y）LED生産のほか、マルチジャンクションIII-V族の太陽電池、レーザーダイオードおよびトランジスタ生産用の業界最高のリアクターです。K475iシステムには新しいリアクター設計が施されており、非常に均一な膜を製造し、業界で最もパーティクル生成が少ないことでウエハ内およびウエハ間の再現性がさらに向上しているVeecoのUniform ...

高効率のGaNベースのパワー デバイスを実現する単一ウエハ リアクターテクノロジー VeecoのPropel Power GaN MOCVDシステムは、パワー エレクトロニクス産業用に特別に設計されています。単一ウエハ リアクター プラットフォームが特長で6インチと8インチのウエハの処理能力があるこのシステムでは、高効率のパワー エレクトロニクス デバイスの製造用に高品質のGaN膜を蒸着できます。単一ウエハ リアクターは、ウエハ全体で均一層状の流量と一様な温度プロファイルを実現する新しいIsoFlangeとSymmHeatテクノロジーを含む、画期的なテクノロジーを採用したVeecoの最先端のTurboDisc®設計に基づいています。お客様はVeeco ...