MOCVD貯蔵マシン TurboDisc K475i As/P

薄膜

クラス最高水準の歩留まりを誇る、業界最高の生産性を誇るAs/P MOCVDシステム Veecoの新しいTurboDisc K475i As/P MOCVDシステムは、赤色、橙色、黄色（R/O/Y）LED生産のほか、マルチジャンクションIII-V族の太陽電池、レーザーダイオードおよびトランジスタ生産用の業界最高のリアクターです。K475iシステムには新しいリアクター設計が施されており、非常に均一な膜を製造し、業界で最もパーティクル生成が少ないことでウエハ内およびウエハ間の再現性がさらに向上しているVeecoのUniform FlowFlangeテクノロジーが統合されています。Uniform FlowFlangeテクノロジーの単純設計により、迅速なプロセス最適化およびメンテナンス後の迅速なツールリカバリーを容易に行えます。この結果、照明、太陽電池、レーザーダイオード、擬似格子整合高電子移動度トランジスタ（pHEMTs）、およびヘテロ接合バイポーラトランジスタ（HBTs）などの用途で最高の生産性が得られます。 新しいUniform FlowFlangeテクノロジー設計により、クラス最高水準の均一性とプロセス再現性が実現し、収益率をさらに高めることが可能 堅牢なリアクター設計により、使いやすく、メンテナンス後の迅速なリカバリーが容易なため、最大限の稼働率を実現 完全自動化による業界最高の生産性 生産実績のあるプラットフォームにより、所有コストを最低限に抑える