光電子工学用貯蔵マシン

... 概要 光学コーティングのための最も革新的な原子層蒸着システム、レイボルド・オプティクスALD 1200を体験してください。プラズマエンハンスド空間ALDにより、最大8x 300 mm基板上の両面超均一膜を実現します。このシステムは、微細構造および曲面3D基板上に、超薄膜、高密度、応力制御されたコーティングをシングルパスで両面成膜します。最大300 mmの基板8枚への高い成膜レート、50～230℃のプロセス温度、および完全にカスタマイズ可能なウェーハハンドリングソリューションにより、クラス最高の適合性と半導体グレードのスループットおよび清浄性を兼ね備えています。 主な利点

• あらゆる面で精密：ナノ構造および曲面3D基板上の超薄膜コンフォーマルコーティング
• 高スループットに最適化：気体の空間的分離により成長率が向上します：
• ニーズに合わせて調整：反転なしの両面コーティングにより、サイクル時間とパーティクルリスクを低減
• 材料の敏捷性：コスト効率の高いスケーリングのための効率的なプリカーサー利用による高い材料柔軟性
• その場での光学モニタリング：OMS

... PVD法によるPCB（プリント基板）金メッキ装置です。 RTSP1215 マシンは、スパッタリング蒸着技術による PCB 金コーティング用にカスタマイズされています。 最終完成品または機械に興味がある場合は、お問い合わせください。 ...

... PECVD＆マグネトロン光学フィルム蒸着システム多面体構造真空コーティング機 Multi950マシンは、R＆D用にカスタマイズされた多機能真空蒸着システムです。陳教授が率いる上海大学のチームとの半年間の話し合いにより、私たちはついに彼らの研究開発アプリケーションを満たすための設計と構成を確認しました。このシステムは、PECVDプロセスで透明なDLCフィルム、ツールへのハードコーティング、スパッタリングカソード付きの光学フィルムを堆積させることができます。このパイロットマシンの設計コンセプトに基づいて、その後3つのコーティングシステムを開発しました。 1.燃料電池電気自動車用のバイポーラプレートコーティング-FCEV1213、 2.セラミック直接めっき銅-DPC1215、 3.柔軟なスパッタリングシステム-RTSP1215。 これらの4つのモデルのマシンはすべてOctalチャンバーを備えており、柔軟で信頼性の高いパフォーマンスがさまざまなアプリケーションで広く使用されています。それは、コーティングプロセスが複数の異なる金属層を必要とすることを満たします：Al、Cr、Cu、Au、Ag、Ni、Sn、SSおよび他の多くの非強磁性金属。 さらに、イオンソースユニット、プラズマエッチング性能、および炭素ベースの層を堆積するためのPECVDプロセスにより、さまざまな基板材料への膜の接着を効率的に向上させます。 ...

... タンタルは、侵食に対する耐性が優れているため、電子産業で保護コーティングとして最も使用されています。 用途 1.マイクロエレクトロニクス産業。膜を反応的にスパッタできるため、抵抗率と抵抗の温度係数を制御できます。 生体適合性の高い特性を備えた、体のインプラントなどの医療機器。 サーモウェル、バルブ本体、ファスナーなどの耐食性部品のコーティング。 コーティングが連続的で欠陥があり、基板に付着することを保護する場合は、スパッタされたタンタルも効果的な耐食性バリアとして使用できます。 メリット -標準化されたトロリーが適用され、堆積チャンバーの内外への基板ホルダーとワークピースの簡単で安全なロード/アンロードを可能にします。 -システムは安全に連動しており、誤操作や危険な行為を防止します。 -チャンバーの中心に取り付けられた基板ヒーター、高精度のPID制御熱電対が提供され、凝縮膜の接着を強化します。 -チャンバーに接続されたゲートバルブを介して磁気サスペンション分子ポンプを備えた強力な真空ポンプ構成。レイボルドのルーツポンプと2段式回転羽根ポンプ、メカニカルポンプで支えられています。 -高エネルギーイオン化プラズマ源がこのシステムに適用され、均一性と密度を保証します。 ...

... 機械、反射器の沈殿をつける高い反射のフィルムの沈殿を金属で処理するプラスチック真空 導入: 高貴な技術は、世界的な、100組の熱蒸発の塗装システムのような、取囲むいろいろな適用および企業に製造され、取付けられていて設計しました: 外部自動車プラスチック/内部のトリム 車の照明および部品 商業の、産業および住宅LEDの照明反射器 化粧品のパッケージ ガラス製品およびミラー 電子消費者製品 EMIのshildingおよびNCVMのフィルム おもちゃの部品およびスポーツ用品 家具の洗濯機そしてさまざまな付属品の家庭電化製品 方法、時計および腕時計 他の多くの地域で少数を、示すことは真空によってがあるプロセスを金属で処理するPVDのコーティング工業で使用され、開発され続けます。 プロセスを金属で処理するPVDは目的に異なった色にある場合もある高い光沢がある、反射の、金属一見を与えます。 PVDの真空のメタライゼーション ...

... RT-C60誘導蒸発コーティング装置は、さまざまな材料でのC60蒸発蒸着用に設計されています。 C60の製造元は、R＆Dおよびテスト結果を見込み顧客に提供します。新しい応用産業の拡大を支援する強力なツール。 最初のセットは上海大学のために製作されました。工業生産モデルは現在処理中です。 用途 太陽光発電、太陽電池、燃料電池、センサー、半導体などの応用産業の研究開発を行うC60材料メーカー C60素材のフィルム蒸着エリア： 半導体 ガラス ポリマー エレクトロニクス 光学 その他の工業製品、食品包装フィルム、金属片など。 真空チャンバー環境でのジェットコーティング技術により、製品表面にC60原子を堆積させ、高純度のC60薄膜層を凝縮します。当社のマシンRTEP400-C60は、C60アプリケーションの研究開発専用に開発されました。 設計の特徴： 超高到達真空圧力：最大9.0 ...

... 私達は真空の放出させる網のコーターを転がすためにあなたの多層沈殿条件を満たすために私達のMultiWebシリーズが転がることを提案するために喜ぶ。 低Eフィルム網のコーターの塗布:電子ペーパー、適用範囲が広い回路の光起電の、医学のストリップ、RFID （無線周波数の同一証明）および低Eフィルム。 沈殿フィルム 1.基質材料:ペット、ペン、PES、PIのPC、PA、…フィルム 2.基質の厚さ:15~300μm 3.沈殿方法:SiO2 （誘電体）のために反応AC;ITOのための脈打ったDC ...

... Royalテクノロジーは、特にレアメタルおよび高価な金属のスパッタリング用に、高収率でターゲット利用率の高いスパッタリングカソードを開発しました：Au金、Taタンタル、Ag銀の金属膜蒸着 高均一性フィルムの堆積システムは、電子部品、高フィルム均一性、多層堆積を必要とする医療機器コンポーネントのようないくつかの産業に貢献してきました。 アンバランスおよびクローズドフィールドマグネトロンプロセスには、平面マグネトロンのすべての利点があります。 追加の長所と短所は次のとおりです。 追加のイオン衝撃により、高密度の粘着性フィルム イオンアシストと基板洗浄が可能 改善されたトライボロジー、耐摩耗性、耐腐食性フィルム 多層、超格子、ナノラミナント、ナノコンポジットフィルムに対応 材料の使い方が悪い より複雑なカソード構成/費用 ...

... 金スパッタリング薄膜堆積システム 用途 金は、最も純粋な形で、明るい赤みがかった黄色をしています。室温で空気中で酸化しないため、通常の状態では非常に安定しており、導電率は一定です。仕上げに使用される最も一般的な貴金属の1つです。 金は耐食性があり、コネクタピンや電気スイッチの接点の仕上げに適しています。 金メッキは、幅広い主要産業の部品およびコンポーネントで使用されています。 医療アプリケーション：体のインプラント エネルギー：水素燃料電池バイポーラプレート 半導体：マイクロエレクトロニクスチップ 航空宇宙および防衛 電気通信およびその他 堅牢な設計、大量生産、高速サイクル、柔軟なコーティングプロセスは、ROYALチームが追求してきた基本的な設計コンセプトです。 設計の利点 省エネルギー：コンパクトな設計と分子ポンプが適用されます 平面スパッタリングカソードで最大40％の高いターゲット使用率 スパッタAu金膜の厚さは制御可能 ワンタッチ操作システム PVD金スパッタリング蒸着 ...

... 1) プラスチック、セラミック、ガラス、金属、表面蒸着、メタライゼーション装飾コーティングに適しています 2) 単一のドアの構造はコーティングおよび基質のローディングをより効率的、高い生産性にします 3) 高い堆積速度、明るい色のコーティング、均一な厚さ 4) 環境に優しい廃ガスなし、廃水なし 5) 塗装経験: 光沢、気品、折り目、伸線、ドリップドロップ、カラフルなフィルム 6) 縦型・横型真空蒸着機・真空蒸着機 2. アプリケーション: 金属、ガラス、セラミックス、ラインストーン、アートワーク、ドアハンドル、ジュエリー、帽子、靴、時計、ライト、装飾品、電話、DVD、MP3、PDA、ボタン、toy.jardware.etc. プラスチッククロムコーティング機は、均一性の高いフィルムをコーティングし、操作が簡単で、効率が高く、低コストです。 プラスチック真空メタライズ機は、真空チャンバー内で抵抗加熱を行い、抵抗線に付着した金属線（アルミ線）を溶融・気化させます。気化した金属分子が基板上に堆積し、滑らかな膜と高い反射率が得られます。したがって、アイテムの表面を装飾して美しくすることができます。 特徴：合理的な構造、均一なフィルム、良質のフィルム形成、速いポンピング速度、短いサイクル、高効率、簡単な操作、低エネルギー消費、安定したパフォーマンスの利点。 ...

... 誘導加熱は高いプロセス生産性および普遍性による異なった分野完全なオートメーションの清浄および可能性で広く利用されています。PVDの熱蒸発の技術の1つの方法として、プロセスは環境のために友好的です。誘導が2000℃および多くの温度に達することを割り当てるのでこの方法は工業生産のために非常に適して、科学研究。 RTEP0404誘導の蒸発のコータは材料のC60蒸発の沈殿のために変わります設計されています。C60は将来に提供しますR & Dおよび試験結果を製造します。新しい応用企業を拡大するためにそれらを助ける強い用具。 主要出願: 薄膜の層およびコーティングを沈殿させるため ...