光起電性貯蔵マシン Multi950

PECVDマグネトロン スパッタリング式アーチ蒸発式

PECVD＆マグネトロン光学フィルム蒸着システム多面体構造真空コーティング機 Multi950マシンは、R＆D用にカスタマイズされた多機能真空蒸着システムです。陳教授が率いる上海大学のチームとの半年間の話し合いにより、私たちはついに彼らの研究開発アプリケーションを満たすための設計と構成を確認しました。このシステムは、PECVDプロセスで透明なDLCフィルム、ツールへのハードコーティング、スパッタリングカソード付きの光学フィルムを堆積させることができます。このパイロットマシンの設計コンセプトに基づいて、その後3つのコーティングシステムを開発しました。 1.燃料電池電気自動車用のバイポーラプレートコーティング-FCEV1213、 2.セラミック直接めっき銅-DPC1215、 3.柔軟なスパッタリングシステム-RTSP1215。 これらの4つのモデルのマシンはすべてOctalチャンバーを備えており、柔軟で信頼性の高いパフォーマンスがさまざまなアプリケーションで広く使用されています。それは、コーティングプロセスが複数の異なる金属層を必要とすることを満たします：Al、Cr、Cu、Au、Ag、Ni、Sn、SSおよび他の多くの非強磁性金属。 さらに、イオンソースユニット、プラズマエッチング性能、および炭素ベースの層を堆積するためのPECVDプロセスにより、さまざまな基板材料への膜の接着を効率的に向上させます。 Multi950は、Royal Techの高度なデザインコーティングシステムのマイルストーンです。ここでは、上海大学の学生、特にProcess Yigang Chenに感謝します。彼の創造的で無私の献身は、無限の価値であり、私たちのチームに影響を与えています。