MOCVD貯蔵マシン TurboDisc EPIK™ 700

クラス最高の歩留まりと最高の生産性を組み合わせて、LED製造コストを低減 LED業界の最高の生産性を誇るMOCVDシステムであり、受賞歴のあるVeecoのEPIK® 700 MOCVDシステムは、前の世代に比べてウエハ当たりのコストを最大20%も削減します。1台リアクタ構成と2台リアクタ構成で使用可能な、EPIK 700は画期的なテクノロジーが特長で、新しいIsoFlangeによるセンター注入流量、およびウエハ キャリア全体で均一層状の流量と一様な温度プロファイルを実現するTruHeatウエハ コイルなどが含まれます。これらの技術革新により、波長の均一性が実現し、厳しい条件が要求されるビン内での歩留まりが向上します。EPIK 700では、リアクターのサイズが大きいため、その他のシステムに比べてスループットが2.5倍になる利点があります。 大量生産向けに設計されたEPIK 700では、31x4”、12x6”および6x8”のウエハ キャリア サイズを取り扱えます。お客様は既存のTurboDiscシステムから新しいEPIK 700 MOCVDプラットフォームにプロセスを容易に移行し、高品質のLEDの生産をすぐに開始できます。EPIK 700 MOCVDプラットフォームは柔軟性が高いため、アップグレードやそのメリットおよび機能の強化は今後も継続します。そしてこの世界に誇るシステムなら、さらに他社を差別化できます。 ウエハ当たりのコストを、前の世代に比べて最大20%節約 クラス最高の均一性とプロセスの再現性により、厳しい条件が要求されるビン内の歩留まりを向上 業界で最高の生産性を誇るリアクターにより、前世代のリアクターに比べて2.5倍のスループットを実現 実績のある自動化により生産性は最大化され、MaxBrightMOCVDシステムに比べて、保守性が向上し、メンテナンス間のキャンペーン時間が延び、設置面積が縮小し、効率が向上します