MOCVD貯蔵マシン TurboDisc EPIK 868

スパッタリング式薄膜回転対陰極

最高の資本効率と設置面積の節約により最先端の性能を実現 VeecoのEPIK® 868は、LED業界で最高の性能を発揮するMOCVDシステムで、欠陥の少ない優れた均一性と再現性を実現します。4台リアクター構成で使用可能なEPIK 868は、独自のIsoFlange™やTruHeat™などの画期的なテクノロジーを特長としています。これらのテクノロジーにより、ウエハ キャリア全体で層状の流量と一様な温度プロファイルを実現できます。これらの技術革新により、miniLEDおよびmicroLEDに求められる歩留まりが向上します。EPIK 868には本来、最高のシステム可用性とアップタイムを可能にするTurboDisc®技術が備わっています。大量生産向けに設計されたEPIK 868の高容量キャリアは、複数の4インチまたは6インチの上はサイズに対応しており、最小の所有コストを実現します。お客様は既存のTurboDiscシステムから新しいEPIK 868 MOCVDプラットフォームにプロセスを容易に移行し、高品質のminiLEDとmicroLEDの生産をすぐに開始できます。 欠陥の少ない優れた均一性 集積小型クラスタ構成 最大生産のための高スループット アーキテクチャ