MOCVD貯蔵マシン TurboDisc® MaxBright® MHP™

薄膜

TurboDisc® MaxBright® MHP™ GaN MOCVD多リアクターシステムは同じような足跡、修理可能、利点およびレイアウト構成のMaxBright上の20%までの中ウエファーの波長の均等性の改善の優秀な収穫を作り出すように特に設計されている最も最近のモジュラー高性能システムを表す。 多リアクターのハードウェア進歩はより高い収穫を達成するためにすべてのウエファーを渡る改善された波長の均等性を提供する。 MaxBright MHPはまたMaxBrightに要されるより低い所有権を提供する。 システムはモジュラー2の多数の高い効率MOCVDリアクターを- Veecoの生産証明された均一FlowFlange®の技術およびオートメーションの専門知識にてこ入れするためにまたは4リアクター集りの建築結合する。 Veecoの大成功のK465iの設計に基づいて、拡大されたウエファー容量を保障し、進むシステムは改良されたリアクター、所有物、クローズド・ループ熱制御技術を含んでいる。