光学式検査装置

自動製造用ウェハー用

本システムは、生産に使用するウェハーを自動的に検査・選別することができます。深層学習、マシンビジョン、障害警告、工場MESインターフェースなど、いくつかのインテリジェントな機能を備えています。 生産能力 実際の量産で実証された最大8500枚/時の平均能力 拡張性 25～150枚のキャリアに対応し、ウェーハ洗浄機との統合も可能 効率性 ダブルデッキトレイの採用により、作業者の作業時間を短縮 ベネフィット 迅速なアフターサービスと低いメンテナンスコスト 精度 厚み測定モジュールには高速プロファイルセンサーを、サイズと汚れの検査モジュールには高解像度カメラを採用し、検査精度を向上させています。 精度 X方向とY方向の側面を検査することで、欠陥の検出漏れを最小限に抑えています。X方向のマイクロクラックモジュールの正確な検査により、マイクロクラックの検出を逃すことはありません。