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体積流量: 0 l/min - 0.1 l/min
動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 1.1 bar - 3.5 bar
... CRITERION™シリーズの最新機種として「D700」を開発し、流体計測制御技術を通して更なる顧客満足を目指します。 装置上でのガスおよび 流量の仕様変更が可能 プロセス最適化のための柔軟性を提供します。 100ミリ秒以下の高速応答 高い生産性とプロセス性能の向上を実現します。 小 流量用MRMG機能（Bin101～Bin105) 小 流量を必要とするプロセスへの柔軟な対応を可能にします。 ...
HORIBA STEC
動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 0.13 bar - 4 bar
繰返し精度: 0.01 % - 0.3 %
... された新しいリストリクタを設置します。D700WRは、ユーザーがガス供給システムの柔軟性を最適化するのに役立つ、フルスケール範囲の0.1%まで 流量を制御することができます。例えば、大 流量と小 流量の制御用に複数のMFCを設置する場合、ユーザーはMFCの数を減らし、同じ位置の別のMFCを別の目的に使用することができます。 0.1～100% のワイドレンジ制御と低 流量での高精度を実現 プロセスの最適化、柔軟性を提供します。 ...
HORIBA STEC
動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 3.5 bar - 7.5 bar
繰返し精度: 0.03 % - 0.3 %
... 0.8秒を実現しています。 特長 PI機能 （Pressure Insensitive） 急激な圧力変動においても、安定した 流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能 ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール 流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 自己診断機能 G-Life (Gas ...
HORIBA STEC
動作温度: 15 °C - 45 °C
耐圧力: 2.4 bar - 4.12 bar
... ベースの 流量計測・制御技術を採用しており、業界をリードする再現性と正確なパフォーマンスを提供します。さらに、独創的な特許登録済みの高度な 流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載しており、ガス供給システムが抱える複数の課題を解決することが可能です。 全 流量域で100 ミリ秒以下の応答性(立ち上がり、立ち下がり、設定値から設定値) 自己診断 Multi Diagnosis 機能(特許登録済み) ...
HORIBA STEC
動作温度: 15 °C - 60 °C
耐圧力: 2.4 bar - 3.5 bar
... ベースの 流量計測・制御技術を採用しており、業界をリードする再現性と正確なパフォーマンスを提供します。さらに、独創的な特許登録済みの高度な 流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載しており、ガス供給システムが抱える複数の課題を解決することが可能です。 全 流量域で100 ミリ秒以下の応答性(立ち上がり、立ち下がり、設定値から設定値) 自己診断 Multi Diagnosis 機能(特許登録済み) ...
HORIBA STEC
体積流量: 0.1, 0.3 l/min
耐圧力: 0.5 bar - 4 bar
繰返し精度: 0.15, 0.01 %
... パフォーマンスに大きく影響します。 流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-Z700S SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。 流量精度 ±1％S.P.保証(設定 流量5〜100％F.S.(N2)) ワイドレンジ制御 低 流量域0.5％F.S.まで制御可能 ...
HORIBA STEC
... 最新機種として「D700」を開発し、流体計測制御技術を通して更なる顧客満足を目指します。 装置上でのガスおよび 流量の仕様変更が可能 プロセス最適化のための柔軟性を提供します。 100ミリ秒以下の高速応答 高い生産性とプロセス性能の向上を実現します。 小 流量用MRMG機能（Bin101～Bin105) 小 流量を必要とするプロセスへの柔軟な対応を可能にします。 ...
HORIBA STEC
体積流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0.5 bar - 3 bar
... 冷却測定方式の 質量 流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の 流量計測制御が行えます。 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微 量流量を正確に精度良く 流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。 ...
HORIBA STEC
体積流量: 0 m³/h - 33,629 m³/h
動作温度: -200 °C - 350 °C
... 深いU字型のデュアルセンサーが精度を最大化 最大200:1までの 流量ターンダウン 液体と気体に最適 センサーサイズ：<1mmから10 "まで 0-0.032 GPH から 0-423,000 BPD までの 流量を測定可能 液体の 流量の不確かさ +/- 0.1% (+/-ゼロ安定性誤差) 密度の不確かさ +/-0.0005 g/ml (CC003 ...
動作温度: -200 °C - 200 °C
耐圧力: 0 bar - 94 bar
... 概 要 高機能変換器を搭載し、標準的な 流量計測、微少 流量計測、短時間充填などの用途においても高精度に直接 質量 流量を計測できる高機能形コリオリ 流量計です。 特 長 ・ - 高精度 - ・ - 現場での設定変更が可能 ・ - 自己診断機能充実 - ・ - 流量レンジが広い ・ ...
Oval Corporation
動作温度: -200 °C - 200 °C
耐圧力: 0 bar - 94 bar
... 概 要 高精度に直接 質量 流量を計測できる高機能形コリオリ 流量計です。 流量計測などの用途に於いても高精度計測が可能です。 特 長 ・ - 高精度 - ・ - 洗浄性に優れた構造 ・ - 流量レンジが広い - ・ - 温度・密度も計測できる ・ - 通信により、パラメータの設定・変更、 流量モニタリング等が可能。（スマートタイプ/別途スマートコミュニケーションユニットが必要） ...
Oval Corporation
体積流量: 10 l/min - 8,000 l/min
動作温度: 0 °C - 50 °C
耐圧力: 0 bar - 7 bar
... 空気や窒素などのユーティリティーガスをワイドレンジで計測できる省エネ管理用の熱式 質量 流量計です。 円換算機能を使用して、使用量、リーク量をお金に換算して表示することで、担当者の省エネに対する意識が向上し、効率的に省エネ対策が進みます。 特 長 ・ - 流量範囲が広い 温度・圧力補正なしで、直接ノルマル換算（0℃、1atm）した 流量を表示･出力できる 表示は、「積算」「累積積算」「瞬時 流量」に加え、 流量を「円換算表示」する機能あり。 ...
Oval Corporation
体積流量: 2.4 m³/h - 450 m³/h
動作温度: 0 °C - 60 °C
耐圧力: 0 bar - 9.8 bar
... 概 要 空気や窒素の他、都市ガスの使用量管理にも適した熱式 質量 流量計です。省エネ対策として炉、ボイラ、空調設備などの都市ガスの使用量管理に最適です。 特 長 ・ - 流量範囲が広く、高精度 ・ - 温度・圧力補正なしで、直接ノルマル換算（0℃、1atm）した 流量を表示･出力できる ・ - 可動部が無く、耐久性に優れている ...
Oval Corporation
体積流量: 0 m³/h - 3,640 m³/h
動作温度: -40 °C - 500 °C
耐圧力: 0 bar - 10 bar
Oval Corporation