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... する気化システムです。トルネードフロー方式による高効率気化により、低 温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメ ータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。 特長 トルネードフロー方式による安定気化 高効率気化方式により、低 温度での安定気化を実現。 熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。 トルネードフロー方式 ...
HORIBA STEC
... 純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。 ...
HORIBA STEC
... ノンキャリアタイプのコンパクトダイレクトインジェクション。高温対応のマスフローメ ータと組み合わせることで、キャリアガスなしに液体材料を瞬時に気化できるコンパクトシステムを構築できます。 システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメ ータ"または気化ガスの流量を計測する"高温用マスフローメ ータ"および気化システム"VC"を基本構成として、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィル ター、加温ヒー ターなどの機器をシステムアップいたします。 ...
HORIBA STEC
... 瞬時に気化します。 システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメ ータ"、キャリアガスの流量制御を行う"マスフローコントローラ"および気化システム"MI/MV"を基本構成とし、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィル ター、加温ヒー ターなどの機器をシステムアップします。 気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現 高効率気化方式により、自己分解材料の安定気化が実現 ...
HORIBA STEC
LED製造プロセスや光デバイス製造プロセスなどで幅広く採用されているMOCVD（有機金属気相成長法）。このMOCVD装置には液体/固体材料が利用され、一般的にはバブリング方式により気化ガスとしてチャンバに供給されます。この材料ガス供給ラインにおいて、安定した成膜プロセスの実現のため、リアルタイムのガス濃度モニタリングが重要とされています。ガス濃度モニタ IR-300 Seriesは、MOCVD装置における材料ガス供給ラインに導入され、インラインの高速ガス濃度モニタリングを可能としました。材料ガスの安定供給をサポートします。 ...
HORIBA STEC
... 液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料の自動供給システムです。 オペ レートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。 マザータンク交換時の安全性を確認する「蒸気圧監視による残液モニタ機能」を標準搭載 ロードセルによるマザータンク内の残材料重量の監視が可能 ...
HORIBA STEC
... PC Fシリーズ エバポレーターは、EVALEDの全カタログの中で最も汎用性の高いシリーズです。これらのユニットはヒートポンプ技術を利用し、産業廃水を低温で効果的に処理します。 沸騰チャンバー内の真空状態により、廃棄物の蒸発は最高40℃で行われます。 最大95％の再利用水 5％の濃縮廃棄水 このようにして、PC Fシリーズ8機種は、ファウリングやスケーリングの発生を最小限に抑えながら、溶存固形分濃度の高い液体の処理を可能にします。 また、ボイラー内の到達 温度が低いため、 熱に弱い液体の処理にも ...
EVALED® Evaporators for industrial wastewater trea
... PC Rシリーズ蒸発装置は、ヒートポンプ技術の汎用性と、沸騰チャンバー内に設置された掻き取りシステムの有効性を兼ね備えています。したがって、これら2つの技術ソリューションの組み合わせにより、低温（最高40℃）での廃水処理が可能になり、高濃度を達成する機会を提供します。 PC Rシリーズは、粘性のある液体、塩分を含む液体、沈殿物を含む液体など、特に取り扱いが困難な液体の処理用に設計されており、廃水処理の最大量とコスト削減を目的とした濃縮前の液体の処理にも理想的なソリューションです。 濃縮液中の高い乾物含量 生成された蒸留液の品質は、プロセス槽の再生から二次利用まで、社内での再利用に適しており、供給コストと水への影響を低減します。 0.15～2トン/日（48～640トン/年）の留出液の生産流量 4モデル SUPERDUPLEXとAISI316：最もアグレッシブな廃水（酸性pH、塩化物、重金属）にも対応する異なる構造材料 廃水量の大幅な削減は、それに応じて廃棄コストも削減することを意味し、投資回収を数ヶ月で定量化することが可能です。 ...
EVALED® Evaporators for industrial wastewater trea
... AC Fシリーズの エバポレーターは、頑丈で信頼性の高い設計となっており、従来の処理プラントでは困難であった固形分濃度の高い、特に汚染された廃水の処理に適しています。沸騰室の低温で作動するため、攻撃的で汚れた廃水も処理できます。 AC Fラインは、温水／冷水技術を使用した20～60トン／日の蒸発能力を持つ3つのモデルで構成され、要求される能力に応じて単動式と複動式があり、後者は特にエネルギー消費量が少ない。 頑丈な設計と容易なメンテナンス コージェネ レーションまたは排ガス 熱回収プラントが利用可能 ...
EVALED® Evaporators for industrial wastewater trea
... EVALED エバポレーターRV Nシリーズは、油分を含む廃水の処理用に特別に設計されており、機械工学や表面処理産業で典型的な油性エマルションの処理に理想的な製品ラインです。 消費電力47kWh/トン コンパクトなユニット 高いエネルギー効率と機械式蒸気再圧縮（MVR）技術の信頼性により、RV Nシリーズは、医薬品や化粧品など他の分野の工業廃水処理にも最適なソリューションとなっています。 一般的に、RV N蒸発缶は、その自然循環のおかげで、油分や重金属を含む非攻撃性の廃水処理に使用できます ...
EVALED® Evaporators for industrial wastewater trea