HORIBAの測定用監視システム

... される薬液を 測定する光ファイバ式薬液濃度モニターです。 最先端ウェットプロセスに必要不可欠な高温薬液のダイレクト 測定を実現。“迅速・安定・省スペース”を実現し、薬液管理の効率化・高精度化が可能です。 高温薬液の安定 測定 優れた光学系、演算処理により、ふらつきがちな高温薬液（20～80℃）の安定したダイレクト 測定が可能です。また、ユーザー側での薬液の冷却を必要としません。 最大6薬液種（薬液またはレンジ）に対応 ...

... 半導体製造工程で使用される混合液の各成分濃度を高精度に 測定可能な薬液濃度モニターです。 商標薬液をはじめ、多成分薬液のコントロールに最適です。半導体製造工程の品質管理の強化や薬液管理の精度向上に貢献します。 多成分薬液に対応 最大8成分の混合薬液の高精度 測定が可能です。 必要試薬ゼロ 成分分離は試薬を用いない光学式の 測定方法となっているため、生産プロセスのコスト削減にも貢献します。 ...

... 影響を与える、超純水中のシリカ濃度。その1μg／L(１ppb)オーダーの 測定要求に確実にお応えします。デスクトップ型のコンパクトボディで、 測定範囲全域における高感度 測定を実現しました。高速応答性や自己診断機能など、充実の基本性能と高感度な新性能で、半導体／FPD製造の純水プロセスを力強くサポートします。 高感度で､しかも高い繰り返し性 独自の新開発セルにより、低濃度に対応する高感度化を実現。 ...

... 1 測定あたり 500μL(Lの100万分の1)という極めて微量なサンプリング量で 測定が可能で、半導体洗浄/エッチング工程、食品製造工程、製薬工程、バイオプロセスなど、pHの連続 監視が必要なあらゆるプロセスにご活用いただけます。 微量サンプルで連続 測定可能 1 測定あたりのサンプル量は 500μL (最大30mL/h)であり、サンプリング 測定と比較して廃棄量を大幅に減らせます。また、データ更新は最短1分毎です。 ...

... リアルタイムで 測定し、アラームで薬液交換や自動補給するタイミングをお知らせ。短い 測定周期の実現により、濃度変化に対しても忠実に追従します。 リアルタイムの濃度追従性 約3秒の 測定周期で300mmプロセスの濃度管理を実現。様々な方式の洗浄装置のきめ細かな濃度管理をサポートします。 簡単管理 測定はフルオートで、 測定開始後の制御は一切不要です。ユーザーは薬液を導入するだけという簡単管理を実現しました。また、参照スペクトル 測定は空気を使用するため、日常 測定ではユーティリティ ...

... CS-1000は、低濃度成分を含む薬液中の3つのパラメータの同時 測定を可能にすることで、半導体製造プロセスを進化させます。 株式会社堀場アドバンストテクノ（以下「堀場アドバンストテクノ」という。(株式会社堀場アドバンストテクノ（以下、堀場アドバンストテクノ）は、薬液モニタリング シス テムの新製品「CS-1000」を発売した。 半導体製造プロセスで使用される薬液の濃度をリアルタイムに 測定する分析装置CSシリーズは、1995年の発売以来、約30年にわたり業界のニーズに応えてきた。 今回発売する「CS- ...