化学監視システム CS-1000

濃度測定用

CS-1000は、低濃度成分を含む薬液中の3つのパラメータの同時測定を可能にすることで、半導体製造プロセスを進化させます。 株式会社堀場アドバンストテクノ（以下「堀場アドバンストテクノ」という。(株式会社堀場アドバンストテクノ（以下、堀場アドバンストテクノ）は、薬液モニタリングシステムの新製品「CS-1000」を発売した。 半導体製造プロセスで使用される薬液の濃度をリアルタイムに測定する分析装置CSシリーズは、1995年の発売以来、約30年にわたり業界のニーズに応えてきた。 今回発売する「CS-1000」は、吸光度、導電率、pHを組み合わせた独自のアルゴリズム（特許出願中※2）により、薬液中に微量（ppm※1レベル）に存在する特定の化学物質を、前処理なしで検出できるスタンドアロン型システムとして性能を向上させました。濃度（最大8成分）、導電率、pHの3パラメータを最短6秒※4で同時測定できるため、品質管理の高度化に貢献します。また、半年に約4時間※5のメンテナンスで済むため、ダウンタイムの削減にも貢献します。また、2種類の薬液の同時測定に対応し、生産性の向上にも貢献します。 半導体の微細化に伴い、その製造に使用される薬液も多成分・微量成分など多様化しています。そのため、複数のパラメータを網羅した厳密な品質管理が求められています。