導電性測定器 HE-960LF

スラリー濃度管理に最適 スラリーの希釈度を一定に保つことが有効です。導電率の値を適切に保つことは、ウェーハポリッシングプロセスにおけるプロセスの安定に寄与します。CMP Slurryのような粘度の高いサンプル液でも、電極にサンプル液が付着しにくいセンサー構造を採用しているため、問題なく測定することができます。また、センサーには耐薬品性に優れた接液材を使用しているため、半導体プロセスで要求されるクリーン度にも対応しています。このほか、半導体プロセス開発段階での導入や、特殊薬品の導電率管理などにも利用できます。 高精度／高安定性 測定範囲 ： 0～2,000μS/cm , 0～10,000μS/cm 繰り返し精度：±0.5％F/S、±1.0％F/S 金属コンタミネーションフリー 電極材料に特殊カーボンを使用しているため、金属コンタミ溶出の心配がありません。 濃度換算機能搭載 薬品の濃度と導電率の関係や温度特性を入力することで、2種類の濃度換算が可能です。 特に低濃度の薬液の希釈制御に適しています。 省スペース 当社従来の導電率センサーからのダウンサイジングにより、設置レイアウトの自由度が向上します。