濃度監視システム CS-100

測定用化学コンパクト

CS-100シリーズ」は、半導体製造時の洗浄・エッチング工程における各種薬液に対応した高精度薬液濃度モニターをラインアップしています。高速応答とコンパクト設計に加え、各成分濃度の測定をリアルタイムで行い、薬液の変化や自動供給のタイミングをアラームで警告します。また、短い測定サイクルで測定できるため、濃度変化を正確に把握することができます。 特徴 リアルタイムで濃度追従 完全自動測定 連続測定時の気泡除去対策も万全 24 V DCの採用により、より高い安全性を確保。 軽量・コンパクト設計 高い歩留まりを実現 RoHS指令対応