濃度測定装置 CS-900F

半導体式非接触式光ファイバー用

製品概要半導体プロセス用薬液の非接触・安定濃度測定装置。CS-900Fは配管に取り付ける非接触の光ファイバー式セルユニットを採用し、薬液の漏えいや汚染リスクを低減します。対応薬液の種類を拡大し、前処理なしで最大80°Cの高温溶液を直接測定できるため、CSシリーズのフラッグシップとして安定性と汎用性を向上させます。主な特長コンパクト設計で安定した測定性能：光ファイバーケーブルの導入により、機器内に設置するセルユニットの体積を従来機比で約60%削減し、外部からの影響を受けにくい安定測定を実現。測定可能薬液の拡大：波長範囲を従来機比で約3倍に拡大し、より多様な薬液に対応。最大80°Cまで直接測定可能で、安全な運用に貢献。非接触測定による安全性と工程最適化：セルユニットを配管に取り付けることで漏えい・汚染リスクを低減し、薬液使用量の削減に寄与。インターフェースと機能：24 V DC 電源、伝送出力、接点出力、RS-232C 通信を備え、マルチコンポーネント測定および温度補償型多変量解析に対応。仕様製品名：光ファイバー式非接触化学濃度モニタ型式：CS-900F測定原理：吸収分光法演算方法：温度補償付き多変量解析測定範囲・再現性（質量%）型式：CS-900F-1-1-1P-1P25P5-AA成分：NH3 — 測定範囲：0.00～1.20 — 再現性：±0.05 — アナログ出力範囲：0.00～10.00成分：H2O2 — 測定範囲：0.00～5.50 — 再現性：±0.10 — アナログ出力範囲：0.00～10.00成分：H2O — 測定範囲：93.3～100.0 — 再現性：±1.0 — アナログ出力範囲：—型式：CS-900F-1-1-1P-P8P8-11成分：NH3 — 測定範囲：0.00～0.80 — 再現性：±0.03 — アナログ出力範囲：0.00～1.00成分：H2O2 — 測定範囲：0.00～0.80 — 再現性：±0.03 — アナログ出力範囲：0.00～1.00成分：H2O — 測定範囲：98.4～100.0 — 再現性：±0.2 — アナログ出力範囲：—測定条件測定間隔：約5秒移動平均：16回配管・設置PFA管：1 inch または 3/4 inch（黒色の帯電防止部は避ける）。配管表面は傷、へこみ、くもりがないこと。セルユニットを配管に取り付け、主装置の設置傾斜を±1°以内に保つこと。サンプル条件サンプル温度：20～80 °C大気温／サンプル温度変動：±1 °C（期間：1時間）サンプル圧力：0.4 MPa (G) 未満；圧力変動は0.02 MPa以内。サンプル液中の気泡は測定に影響するため、PFA管内に気泡が残らないよう流すこと。背景補正に使用した圧力と異なる圧力で測定する場合はゼロ点補正を行うこと。電源・物理仕様電源：24 V DC消費電力：約40 W（起動時の突入電流を除く）質量：本体 約5.8 kg；セルユニット 約1.4 kg寸法：本体 217 (W) × 290 (D) × 173 (H) mm（突起部除く）；セルユニット 186 (W) × 142 (D) × 83 (H) mm（突起部除く）光源の期待寿命：5年光ファイバーケーブル：標準長 5 m；曲げ半径 R150 mm