半導体製造やFPD製造工程の薬液・排液管理に最適な高濃度向け導電率計です。
耐薬品性のある4極式カーボンセンサーを採用しています。ワイドレンジを切替せずに測定可能かつ、濃度換算機能を備えていますので、半導体洗浄プロセスなどに使用される数多くの薬液類の導電率測定が可能です
ワイドレンジ対応
最大1000mS/cまで測定可能です。(温度補償する前の導電率の測定範囲)
表示レンジ自動切替
高濃度から低濃度まで表示レンジを自動で切り替えします。また、有効な導電率分解能を維持しながら、変化をモニターすることも可能です。
濃度換算機能
薬液濃度と導電率の関係、および温度特性を入力することで濃度換算が可能です。
耐薬性に優れたセンサー