温度測定器 HE-480R(W)

抵抗率屋外水

洗浄プロセス用超純水の純度監視に最適な比抵抗計です。 マイクロプロセッサ搭載により、プロセス中の超純水を高精度に測定します。これにより、シリコンウエハの最終洗浄水として使用される超純水などの純度監視に貢献します。 高精度 超純水の温度特性をもとに、マイクロプロセッサが温度補償係数を演算し、25℃比抵抗に自動換算します。 高精度の温度補償 温度補償素子に白金測温抵抗体（Pt1000Ω）を採用することで、0～100℃の範囲で高精度な温度補償が可能となっています。 豊富な温度補償機能 純水、超純水+不純物、任意設定の温度補償の選択が可能なので、測定液に応じた温度補償が行えます。