HORIBAの熱流量計

体積流量: 0 l/min - 0.1 l/min
動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 1.1 bar - 3.5 bar

... CRITERION™シリーズの最新機種として「D700」を開発し、流体計測制御技術を通して更なる顧客満足を目指します。 装置上でのガスおよび 流量の仕様変更が可能 プロセス最適化のための柔軟性を提供します。 100ミリ秒以下の高速応答 高い生産性とプロセス性能の向上を実現します。 小 流量用MRMG機能（Bin101～Bin105) 小 流量を必要とするプロセスへの柔軟な対応を可能にします。 ...

動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 0.13 bar - 4 bar
繰返し精度: 0.01 % - 0.3 %

... された新しいリストリクタを設置します。D700WRは、ユーザーがガス供給システムの柔軟性を最適化するのに役立つ、フルスケール範囲の0.1%まで 流量を制御することができます。例えば、大 流量と小 流量の制御用に複数のMFCを設置する場合、ユーザーはMFCの数を減らし、同じ位置の別のMFCを別の目的に使用することができます。 0.1～100% のワイドレンジ制御と低 流量での高精度を実現 プロセスの最適化、柔軟性を提供します。 ...

動作温度: 0 °C - 80 °C
耐圧力: 3.5 bar - 7.5 bar
繰返し精度: 0.03 % - 0.3 %

... 0.8秒を実現しています。 特長 PI機能 （Pressure Insensitive） 急激な圧力変動においても、安定した 流量制御を可能とする最新のアルゴリズムを搭載し、各ガスラインの圧力制御機能を省くデザインが可能。ガスラインのシンプル化を実現します。 マルチガス・マルチレンジ・マルチプレッシャー機能 ユーザーサイドで「ガス種」、「フルスケール 流量」、「供給圧力レンジ」の変更が可能。予備品低減など、コスト削減に貢献します。 自己診断機能　G-Life　(Gas ...

動作温度: 15 °C - 45 °C
耐圧力: 2.4 bar - 4.12 bar

... ベースの 流量計測・制御技術を採用しており、業界をリードする再現性と正確なパフォーマンスを提供します。さらに、独創的な特許登録済みの高度な 流量制御アルゴリズム・ツインバルブ構造を搭載しており、ガス供給システムが抱える複数の課題を解決することが可能です。 全 流量域で100 ミリ秒以下の応答性(立ち上がり、立ち下がり、設定値から設定値) 自己診断 Multi Diagnosis 機能(特許登録済み) ...

体積流量: 0.1, 0.3 l/min
耐圧力: 0.5 bar - 4 bar
繰返し精度: 0.15, 0.01 %

... パフォーマンスに大きく影響します。 流量精度、再現性、応答性能、パーティクルレスなど必須の性能を備えたSEC-Z700S SeriesがAtomic Levelのエッチング、成膜プロセスにおける多種多様な要求に対応します。 流量精度 ±1％S.P.保証(設定 流量5〜100％F.S.(N2)) ワイドレンジ制御 低 流量域0.5％F.S.まで制御可能 ...

... 最新機種として「D700」を開発し、流体計測制御技術を通して更なる顧客満足を目指します。 装置上でのガスおよび 流量の仕様変更が可能 プロセス最適化のための柔軟性を提供します。 100ミリ秒以下の高速応答 高い生産性とプロセス性能の向上を実現します。 小 流量用MRMG機能（Bin101～Bin105) 小 流量を必要とするプロセスへの柔軟な対応を可能にします。 ...

体積流量: 0 us gal/min - 100 us gal/min
動作温度: 5 °C - 50 °C
耐圧力: 0.5 bar - 3 bar

... 冷却測定方式の質量 流量センサーを搭載した液体用マスフローコントローラ&メータです。 冷却測定方式のセンサー搭載により、センサー部での加温を行わないため、低蒸気圧材料から純水など幅広い液体の 流量計測制御が行えます。 流量制御部には、デッドボリュームが無いメタルダイヤフラム構造のバルブを搭載し、µリッター/分レベルの微量 流量を正確に精度良く 流量制御が行えます。専用の気化器との組み合わせにより、純水や液体材料の気化（ガス化）システムが構築できます。 ...