HORIBAのエバポレーター

... です。トルネードフロー方式による高効率気化により、低温度での安定気化を実現。半導体プロセスで使用される"液体材料:High-k材料など"の安定気化システムとして最適なモデルです。キャリアガス制御用マスフローコントローラと液体材料の流量計測用マスフローメ ータのセットアップで、高効率な気化システムが完成します。 特長 トルネードフロー方式による安定気化　 高効率気化方式により、低温度での安定気化を実現。 熱分解しやすい液体材料においても気化性能が向上。 トルネードフロー方式による大流量気化 ...

... 純水をはじめとした様々な液体材料をガス化し、任意の流量に制御し供給するシステムです。微少流量から大流量まで、安定した気化が可能です。気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給し、長時間の連続発生を可能としています。 微少流量から大流量まで、安定した液体材料気化が可能です。 高温状態のガスでも流量制御可能なマスフローコントローラを搭載しています。 気化発生時にも液体材料を気化タンクへ供給することで、長時間の連続発生を可能としています。 液体材料と気化流量、発生条件に合うシステムの提案を行います。また、生産設備組込タイプなどの対応も行っています。お気軽にお問合せください。 ...

... ノンキャリアタイプのコンパクトダイレクトインジェクション。高温対応のマスフローメ ータと組み合わせることで、キャリアガスなしに液体材料を瞬時に気化できるコンパクトシステムを構築できます。 システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメ ータ"または気化ガスの流量を計測する"高温用マスフローメ ータ"および気化システム"VC"を基本構成として、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィル ター、加温ヒー ターなどの機器をシステムアップいたします。 ...

... 液体材料をベーキングシステム(LSC シリーズ)、インジェクションシステム(MI、MV、VCシリーズ)へ“自動的に”“安全に”“無駄無く”供給可能な液体材料の自動供給システムです。 オペ レートミス対策として危険が伴うタンク交換時の残液除去シーケンスの自動化も標準搭載しています。またメンテナンス性の高効率化を行いスループット向上のご提案を行えるモデルです。 マザータンク交換時の安全性を確認する「蒸気圧監視による残液モニタ機能」を標準搭載 ロードセルによるマザータンク内の残材料重量の監視が可能 ...

... を気化（ガス化）する気化システムです。キャリアガスを用いた気液混合方式により液体材料を瞬時に気化します。 システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメ ータ"、キャリアガスの流量制御を行う"マスフローコントローラ"および気化システム"MI/MV"を基本構成とし、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィル ター、加温ヒー ターなどの機器をシステムアップします。 気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現 ...

LED製造プロセスや光デバイス製造プロセスなどで幅広く採用されているMOCVD（有機金属気相成長法）。このMOCVD装置には液体/固体材料が利用され、一般的にはバブリング方式により気化ガスとしてチャンバに供給されます。この材料ガス供給ラインにおいて、安定した成膜プロセスの実現のため、リアルタイムのガス濃度モニタリングが重要とされています。ガス濃度モニタ IR-300 Seriesは、MOCVD装置における材料ガス供給ラインに導入され、インラインの高速ガス濃度モニタリングを可能としました。材料ガスの安定供給をサポートします。 ...